サンユー電子株式会社マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

最終更新日：2024-02-07 10:47:49.0
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イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用フルオートマチックスパッタコーター

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター

【特徴】
○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用
○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献
○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート
○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます

基本情報マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

【仕様】
〇ターゲットサイズ：φ49mm
〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag
〇試料サイズ：φ50mm(Max)
〇排気操作：自動
〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H)：225/420/320mm

価格情報	-
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	QUICK COOL COATER SC-701MC
用途／実績例	【用途】 ○電極用スパッタ薄膜の作成用途 ○反射膜作製用途〇SEM用試料の前処理　etc.