- イオンビームミリング装置(イオンミリング装置)
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- 最終更新日:2010/10/01
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- 研究/開発用から量産用まで対応!
- AE機器エンジニアリング株式会社
- 運動エネルギーをもったイオンで微細加工するドライエッチング装置。豊富なオプションで、デバイス生産に貢献します。
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イオンビームミリング装置(イオンミリング装置) 基本情報
【特徴】
○研究/開発用から量産用
○基板へのイオンビーム入射角を自由に選ぶことができ、さらに基板を静止、又は公転、自公転運動させることができるので、様々なプロセスにフレキシブルに対応します。
○豊富なオプションで、デバイス生産に貢献します。
○各種プロセスでの使用実績があります。
○MRAM、センサ、ヒートシンク材、プリンタヘッド、SAWフィルタ、回折格子にも対応します。
●詳しくはお問い合わせ下さい
| 価格 |
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|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 | |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 用途/実績例 | 各種プロセスでの使用実績があります。 薄膜磁気ヘッド加工、半導体素子加工、その他各種加工に使用実績があります。 |
| よく使用される業種 | 産業用機械、電子部品・半導体、製造・加工受託 |
イオンビームミリング装置(イオンミリング装置) 取扱い会社
ガス絶縁機器、車両用機器の設計製造 発電プラント主回路機器の設計製造 イオンビーム応用装置、中性粒子入射加熱装置の設計製造 発変電機器用圧力容器など、金属加工製品の設計製造 鋼構造物製品の設計製造・工事 技術サービス業務
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