EDXによる元素分析サービス｜エイキット株式会社

EDXによる元素分析サービス｜エイキット株式会社　基本情報

サービス概要

エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDX）は電子線を試料に当てて励起される特性Ｘ線のエネルギーを測定することにより得られるスペクトルから、試料表面の元素分析を行う装置です。
試料表面のどこに、どのような元素が（定性）、どれぐらいの量（定量）含まれているかを分析することが可能です。

サービス詳細

数千ppmオーダーの定量精度

定量精度は元素によって異なりますが、おおむね数千ppm（コンマ数％）オーダーになります。検出限界は1500ppm〜2000ppmになります。

カラーマッピングの実施

分析試料のどこに、どんな元素が、どれだけ存在しているかをカラーマッピングにて表示することが可能です。

多元素の同時測定

B〜Uの元素が同時に測定ができるため、含有される元素が未知な場合でも検出が可能です。

短時間での分析

多元素の同時測定が可能なため、定性定量分析・カラーマッピングが短時間で実施できます。

低真空モードでの分析

汎用のSEMの低真空モードにより、ガスの出やすい試料や導電性の無い試料で蒸着をしたくない試料でも分析が可能です