有限会社ソーラーリサーチ研究所 プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。

基本情報プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット

『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON−OFFを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。

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型番・ブランド名 プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット
用途/実績例 『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON−OFFを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。

取扱企業プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット

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有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触搬送装置「フロートチャック」(特許自社開発)を用いたウエハ、液晶ガラス、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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