有限会社ソーラーリサーチ研究所 非接触エンドエフェクター
- 最終更新日:2018-06-15 11:26:23.0
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ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの
ローダ・アンローダに最適です。
このハンドには排気回収装置(特許)が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。
また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
基本情報非接触エンドエフェクター
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの
ローダ・アンローダに最適です。
このハンドには排気回収装置(特許)が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。
また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | 非接触ハンドFTP型 |
用途/実績例 | ウエハローダ・アンローダ ウエハカセット移裁 ウエハ搬送 |
取扱企業非接触エンドエフェクター
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