日本ブッシュ株式会社 ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ
- 最終更新日：2021-08-25 11:52:03.0
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半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。
ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。
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スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ
【特徴】
○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現
○コンパクト設計の為移動に便利
○省スペースの真空ポンプ
○ポンプ内温度コントロールが可能
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基本情報ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ
●ポンプに関してその他機能や詳細については、カタログダウンロード
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| 価格情報 |
各種仕様により価格は変動します。詳しくはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | COBRA DS シリーズ |
| 用途／実績例 | 【用途】 CVD、ETCH、ロードロック、PVD、トランスファチャンバー、 イオン注入機 など |
カタログドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ
取扱企業ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ
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●ドライ真空ポンプ ●油回転真空ポンプ ●真空計 ●リークディテクター ●ガス除害装置 ●集塵機 ●真空システム設計、製造 ●サービス ●フィールドサービス ●修理、メンテナンス ●その他真空関連コンサルティング
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