3次元アトムプローブ装置改善事例北野精機

3次元アトムプローブ装置改善事例

◆◇◆経緯◆◇◆

3次元アトムプローブ装置（3D-AP）において、Tip（アトムプローブ分析では
試料表面に高電界を加えるために針状の試料を用いる）表面からの電界蒸発を、
従来の高圧印加ではなく、レーザー照射により行う事となった。

その為、Tip先端にレーザーを局所的に照射する必要がある。
しかし、FIM像（原子）を安定させる為に用いている冷凍機の振動により、
Tip先端へのレーザーの照射位置を確定する事が困難となっていた。

基本情報3次元アトムプローブ装置改善事例

◆◇◆対処法◆◇◆

冷凍機の先端部に直接Tipホルダーを取り付け冷却していた為、
どうしても振動を拾ってしまう機構になっていた。
そこで今回は振動をなくすために、冷凍機とTipを分離させ、
冷凍機の振動を拾わない構造へと改良を行った。

◆◇◆構成◆◇◆

◆固定方法
冷凍機と独立したフランジよりスタットを設け固定。
◆冷却方法
冷凍機先端より銅板を用いてTipホルダー固定用の治具の冷却行う。
Tipホルダーの冷却は、冷凍機の先端よりブレード（Ag）を用い冷却を行う。
※最小部材のみを冷却する事に変更

◆◇◆成果◆◇◆

今回の改良により、Tip先端がほぼ無振動に近い状態となり、レーザーを
局所的に照射する事が容易になった。また、冷却部を最小範囲とした事により、
冷却能力のアップが実現出来た。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。

カタログ3次元アトムプローブ装置改善事例

取扱企業3次元アトムプローブ装置改善事例

北野精機株式会社

最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設【製品一例】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他）　《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ）　（化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ）《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）