◆◇◆経緯◆◇◆
これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。
しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。
◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、
その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。
また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。
◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いているが、
現状の真空槽を活用して、拡張性を増やし、色々な実験を行いたい。
基本情報改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
◆◇◆対処法◆◇◆
◆現状の2軸マニピュレーター(上下軸・回転軸)から、3軸マニピュレーター
（上下軸・回転軸・マスク上下軸）への変更を提案した。
（現状の2軸マニピュレーターから新規3軸マニピュレーター製作へ）
◆下部フランジを弊社有機蒸着セル（KOD-Cell）が最大限設置可能な設計を提案した。
（有機蒸着セル：最大8源取り付け可能、金属蒸着セル：最大3源取り付け可能）
◆◇◆結果◆◇◆
◆新規3軸マニピュレーターを設計製作した。それに伴い、
追加制御機能を新規 PLC制御パネルにて構築し、既存の制御系と
ドッキングする事を可能にした。基板ホルダー及びマスクホルダーを
各々搬送可能になった事により、実験の拡張性が大幅に増え、
様々なパターンの実験が可能となった。
◆新規下部フランジを設計製作した。外周に有機蒸着セル（KOD-Cell）を
8源、中央に3元金属蒸着セル（KMDT-Cell）がそれぞれ設置可能な構成を構築した。
これまで、有機蒸着のみの部屋であったが、金属蒸着も可能となり、
大幅に実験の拡張性が増え、様々な材料蒸着に可能とした。
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 事例4 有機EL成膜装置改造 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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