RHEED振動モニターシステム
RHEED振動モニターシステム 31114002 製造・加工機械 > 半導体製造装置 ・RHEEDパターン強度の計測(任意の場所、箇所、大きさ) ・RHEED振動のその場でのグラフ表示 ・RHEED振動の再表示 ・RHEED振動はCSVファイルに保存され、独自の解析が可能 ・RHEEDパターンの任意の時刻における保存(BMP、TIFF、JPEGファイル) ・RHEEDパターンの自動記録 ・回折スポット間距離の計測、その場でのグラフ表示 ・最大8点までの同時計測 ・1シーンの最小処理時間1/30秒 ・ピーク点の移動に対する自動追随機能 ・指定されたロイ内の平均輝度、またはピーク値のモニター ・強度ラインプロファイル ・強度2次元ヒストグラム ・データの補間 ・その他、AV-画像ボードビューアの機能
  • RHEED振動モニターシステムの製品画像です
    RHEED振動モニターシステムの製品画像です
  • 半導体、酸化物、窒化物を含めたあらゆる機能性薄膜の原子レベル制御に必要不可欠な高速電子線回折のモニターシステム
    株式会社イメージセンス
    ・RHEEDパターン強度の計測(任意の場所、箇所、大きさ)
    ・RHEED振動のその場でのグラフ表示
    ・RHEED振動の再表示

    ・RHEED振動はCSVファイルに保存され、独自の解析が可能
    ・RHEEDパターンの任意の時刻における保存(BMP、TIFF、JPEGファイル)
    ・RHEEDパターンの自動記録

    ・回折スポット間距離の計測、その場でのグラフ表示

    ・最大8点までの同時計測
    ・1シーンの最小処理時間1/30秒
    ・ピーク点の移動に対する自動追随機能
    ・指定されたロイ内の平均輝度、またはピーク値のモニター

    ・強度ラインプロファイル
    ・強度2次元ヒストグラム
    ・データの補間
    ・その他、AV-画像ボードビューアの機能
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RHEED振動モニターシステム 基本情報

本システムは半導体、酸化物、窒化物を含めたあらゆる機能性薄膜の原子レベル制御に必要不可欠な高速電子線回路(RHEED)のモニターシステムです。

CCDカメラで観測したRHEEDパターンをパソコン上に映し出し、任意の時間のRHEEDパターンをデジタル化し保存することが可能です。同時に任意の場所、箇所、大きさで時間とともに変化する強度を同一画面上にグラフ表示します。

これらのことにより、機能性材料の表面の構造や凹凸の状態・成長速度といった薄膜の成長の様子がその場で観察可能となり、製作過程において職人的感に頼ることなく製膜条件を決めることが出来るようになります。

価格 78万円から
価格帯 50万円以上 100万円未満
納期
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 AV-RHEED
用途/実績例 真空装置のなかで電子線を試料に対しほぼ水平(2から3度)に入射させます。電子線は原子との相互作用が大きく浅い角度で入射されたことにより、蒸着による表面構造を反映した回折パターン(RHEEDパターン)がスクリーンに投影されます。

このRHEEDパターンから雰囲気の条件や試料温度によって異なる構造や、島状成長か層状成長か、ステップの状態がどのようになっているかということが分かります。

また、回折点の強度が時間とともに変化するRHEED振動により原子が何層積まれたのか成長速度がどのくらいかが分かります。
よく使用される業種 樹脂・プラスチック、電子部品・半導体、試験・分析・測定、教育・研究機関

RHEED振動モニターシステムのカタログ

RHEED振動モニター

  • 本システムは半導体、酸化物、窒化物を含めたあらゆる機能性薄膜の原子レベル制御に必要不可欠な高速電子線回路(RHEED)のモニターシステムです。

    CCDカメラで観測したRHEEDパターンをパソコン上に映し出し、任意の時間のRHEEDパターンをデジタル化し保存することが可能です。同時に任意の場所、箇所、大きさで時間とともに変化する強度を同一画面上にグラフ表示します。

    これらのことにより、機能性材料の表面の構造や凹凸の状態・成長速度といった薄膜の成長の様子がその場で観察可能となり、製作過程において職人的感に頼ることなく製膜条件を決めることが出来るようになります。
    [PDF:651KB]

RHEED振動モニターシステム 取扱い会社

株式会社イメージセンス詳細

画像処理ライブラリ&画像ボードをベースに一般画像解析は元より、動画像、2D・3D、フーリエ位相解析、ガス密度可視化、RHEED振動モニタ、運動解析、流体解析などの研究・開発者向けの画像解析システムの開発を行っています。

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