ウェハー表面改質・精密接合装置
ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を、真空〜任意雰囲気で
表面改質処理後精密接合する装置
■□■特徴■□■
■4〜6インチのウェハーレベル各種ポンディングに対応
■任意材料に適した表面改質処理による前処理機能
■均一な加熱、加圧機能を備えた接合システム
■残留応力低減のための加熱冷却システム
■超高真空〜加圧雰囲気に任意対応
■任意ポジション加圧・電圧印加制御機構
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。
基本情報ウェハー表面改質・精密接合装置
ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を、真空〜任意雰囲気で
表面改質処理後精密接合する装置
■□■特徴■□■
■4〜6インチのウェハーレベル各種ポンディングに対応
■任意材料に適した表面改質処理による前処理機能
■均一な加熱、加圧機能を備えた接合システム
■残留応力低減のための加熱冷却システム
■超高真空〜加圧雰囲気に任意対応
■任意ポジション加圧・電圧印加制御機構
■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら
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| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ■□■用途■□■ ■シリコン ■金属 ■石英 ■ガラス等 |
取扱企業ウェハー表面改質・精密接合装置
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