小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）リバティー

基本情報小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマを使用した簡易型枚葉式プラズマクリーナーです。
600mm（W）×600mm（D）×750mm（H）（ポンプ除く）の小型プロセス装置です。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	S-Maru
用途／実績例	ウエハ表面のエッチング、フォトレジスト等のアッシング。CSP、BGA/CSP基板、リードフレーム等の無機物除去による接着効果改善。プラスチックパッケージ、ハイブリッドIC、高分子材料等、チップ及び基板表面改質によるアンダーフィル性の向上。電極表面酸化膜及び接合性阻害除去によるワイヤボンディング性向上等。

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取扱企業小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

株式会社リバティー

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置（RIE/DP切替え可）、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置（ウエハソーター）、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。