株式会社リバティー SMIF対応ウエハソーター(SMIF対応ウエハ移載機)

SMIF対応ウエハソーター(SMIF対応ウエハ移載機)

本装置は、SMIF対応2ステーション対応ウエハソーター(移載機)です。
ウエハサイズは、200mm(8インチ)以下に対応しています。
スループット: 350wph OCR / 850wph transfer

基本情報SMIF対応ウエハソーター(SMIF対応ウエハ移載機)

本装置は、SMIF対応2ステーション対応ウエハソーター(移載機)です。
ウエハサイズは、200mm(8インチ)以下に対応しています。
スループット: 350wph OCR / 850wph transfer

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 s2x
用途/実績例 SMIF Pod to SMIF Pod(カセット to カセット)ウエハ移載機
ウエハソーティング機能可能
特別仕様等ご相談に対応させて頂きます。

取扱企業SMIF対応ウエハソーター(SMIF対応ウエハ移載機)

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株式会社リバティー

1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置(RIE/DP切替え可)、枚葉式多目的プラズマ処理ユニット、小型プラズマクリーナー、ウエハ搬送装置(ウエハソーター)、EFEM、2次元分光器や表面洗浄度検査装置の販売・サービス。 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス及び部品等の販売。 3. お客様のご依頼・ご相談による装置開発、製作等。

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