- マスクアライナー ガラス基板貼り合わせ装置
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- 最終更新日：2010/10/01
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- マスクアライナー ガラス基板貼り合わせ装置の製品画像です
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- マスクアライナー ガラス基板貼り合わせ装置
- 株式会社ルミナス
- 上下の基板間がMax3mmというロングギャップでのアライメントが可能なガラス基板貼り合わせ装置です。
【特徴】
○モニター上の電子ラインに上下のアライメントマークを手動ステージで位置合わせ後、顕微鏡を退避して露光・硬化を行います。
○高精度・高剛性のZ軸ステージを採用しているため顕微鏡が上下しても高精度なアライメントを行うことが可能です。
○高精度・高剛性の顕微鏡用Z軸ステージにより、アライメント精度±10μm（最大ギャップ時）を可能としました。
○特殊なガラス基板貼り合わせ作業等、ほかのアライメント装置に不可能な作業において、威力を発揮します。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 -
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マスクアライナー ガラス基板貼り合わせ装置 基本情報
上下の基板間がMax3mmというロングギャップでのアライメントが可能なガラス基板貼り合わせ装置です。
【特徴】
○モニター上の電子ラインに上下のアライメントマークを手動ステージで位置合わせ後、顕微鏡を退避して露光・硬化を行います。
○高精度・高剛性のZ軸ステージを採用しているため顕微鏡が上下しても高精度なアライメントを行うことが可能です。
○高精度・高剛性の顕微鏡用Z軸ステージにより、アライメント精度±10μm（最大ギャップ時）を可能としました。
○特殊なガラス基板貼り合わせ作業等、ほかのアライメント装置に不可能な作業において、威力を発揮します。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
| 価格 |
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|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 | |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 用途／実績例 | 有機ディスプレイ、タッチパネル等 |
| よく使用される業種 | 化学、樹脂・プラスチック、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、建築・土木・エンジニアリング、製造・加工受託、教育・研究機関、その他 |
マスクアライナー ガラス基板貼り合わせ装置のカタログ
ガラス基板貼り合わせ装置 カタログ
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- 特殊なガラス基板貼り合わせ作業等、ほかのアライメント装置に不可能な作業において、威力を発揮します。
- [PDF:2MB]
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