隔膜式真空計（バラトロン真空計）

隔膜式真空計（バラトロン真空計）　基本情報

150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計


バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。

センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。

150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。

特徴
●最小フルスケールレンジ：133×10E-2Pa　
●最大フルスケールレンジ：133×10E5Pa
●精度：読み値の0.50％
●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力（最大1.0A)
●外部から調整可能なリレー機能内蔵（オプション）