日本インテグリス合同会社 プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルター
- 最終更新日：2019-07-25 15:13:27.0
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1つのユニットで金属イオンと微小粒子の両方を除去。
清浄度が重要となる純水洗浄のアプリケーションにおいて優れた流量と汚染物質に対する除去性能を発揮します。
極めてクリーンな製品設計により、低温、高温(それぞれLT、HT シリーズが対応) いずれの温度範囲においても迅速な立ち上げと歩留まりの向上を実現します。
プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルターは、純水のワンパスや循環プロセスで複数の金属陽イオンを効率よく除去します。
基本情報プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルター
【主な仕様】
孔径：
LTシリーズ (～60℃) 20 nm, 0.05, 0.1µm またはイオン交換のみ
HTシリーズ (～80℃) 7 nm またはイオン交換のみ
材質：
LTシリーズ (～60℃)
粒子除去膜 20 nm: 親水性ポリスルフォン
0.05, 0.1µm: 親水性超高分子量ポリエチレン
イオン交換メディア ポリエチレン
コア、スリーブ、サポート 高密度ポリエチレン
O-リング 被覆フッ素ゴム（E-FKM）ほか
HTシリーズ (～80℃)
粒子除去膜 親水性ポリスルフォン
イオン交換メディア ポリエチレン
コア、スリーブ、サポート ポリプロピレン
O-リング 被覆フッ素ゴム（E-FKM）ほか
イオン交換容量： カタログをご参照ください
| 価格情報 | お問い合わせ下さい |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Protego (プロテゴ) |
| 用途／実績例 | 半導体、液晶などの製造分野に用いられる洗浄用の純水・超純水中の最終ろ過 |
カタログプロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルター
取扱企業プロテゴ Plus 純水用ピューリファイヤー/フィルター
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液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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