スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した
スパッタ成膜ユニット
【特徴】
○優れた膜厚分布を実現
○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて
使用する事が可能
○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能
○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能
○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した
スパッタ成膜ユニット
【特徴】
○優れた膜厚分布を実現
○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて
使用する事が可能
○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能
○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能
○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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