株式会社メープル スピン現像装置

スピン現像装置

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
 ノズルの移動が任意に設定可能。

●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

※詳細は【資料請求】まで

基本情報スピン現像装置

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
 ノズルの移動が任意に設定可能。

●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

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カタログスピン現像装置

取扱企業スピン現像装置

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株式会社メープル

マスフローコントローラ|ドライ洗浄装置|UV照射装置|エリプソメーター|超音波洗浄|真空装置|等の販売。

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