スピン現像装置
ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。
【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。
●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
ノズルの移動が任意に設定可能。
●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。
※詳細は【資料請求】まで
基本情報スピン現像装置
ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。
【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。
●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
ノズルの移動が任意に設定可能。
●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。
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