N2パージシステム（スタンドアロン）　RP3000

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N2パージシステム（スタンドアロン）　RP3000

株式会社ライト製作所

全てのFOUPと、各デバイスメーカーに対応可能な
N2パージスタンドアロンシステム

【特徴】
○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応
○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入
　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射）
○パーティクルを最小限に保ち
　短時間で低酸素濃度100ppm以下を達成
○装置単体での運用が可能
　LANによる高速SECS通信採用
　OHT搬送に対応
　ケミカル低減対応可能（オプション）

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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N2パージシステム（スタンドアロン）　RP3000　基本情報

全てのFOUPと、各デバイスメーカーに対応可能な
N2パージスタンドアロンシステム

【特徴】
○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応
○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入
　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射）
○パーティクルを最小限に保ち
　短時間で低酸素濃度100ppm以下を達成
○装置単体での運用が可能
　LANによる高速SECS通信採用
　OHT搬送に対応
　ケミカル低減対応可能（オプション）

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。
よく使用される業種	電子部品・半導体、サービス業、その他

N2パージシステム（スタンドアロン）　RP3000のカタログ

全てのFOUPと、各デバイスメーカーに対応可能な
N2パージスタンドアロンシステム

【特徴】
○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応
○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入
　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射）
○パーティクルを最小限に保ち
　短時間で低酸素濃度100ppm以下を達成
○装置単体での運用が可能
　LANによる高速SECS通信採用
　OHT搬送に対応
　ケミカル低減対応可能（オプション）

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

[PDF:604KB]

N2パージシステム（スタンドアロン）　RP3000　取扱い会社

株式会社ライト製作所詳細

メカトロニクスの一貫生産体制による試作と量産 ■設計・開発 ■製造 ■大型精密加工

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