マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500

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マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500

アリオス株式会社

アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。

【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
　その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
　多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
　様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
　ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
　さらに超高真空まで対応可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500　基本情報

アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。

【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
　その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
　多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
　様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
　ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
　さらに超高真空まで対応可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格	-
価格帯	その他
納期	1週間以内
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	MiPC-500
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。
よく使用される業種	電子部品・半導体、教育・研究機関、サービス業、その他

マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500のカタログ

アリオス社が取り扱う、マイクロ波を用いたプラズマ実験装置のご紹介です
プラズマ源やマイクロ波電源などを、全て自社設計する
アリオス社だからこそできる、柔軟設計。
お客様の要求仕様に応じた設計、製造をいたします。

【特徴】
○DLC膜・カーボンナノチューブ・プラズマ殺菌・真空紫外照射
　その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置等
　多種に渡り製作が可能
○基板移動機構により、基板とプラズマの位置を任意に設定できるため
　様々なプロセスに対応可能
○プラズマ中に基板を挿入すれば、プラズマにより加熱されるため
　ダイヤモンド薄膜作製時には、ヒーターは不要
○排気装置もロータリーポンプ・メカニカルブースター
　さらに超高真空まで対応可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

[PDF:925KB]

マイクロ波プラズマ実験装置　MiPC-500　取扱い会社

アリオス株式会社詳細

真空計、分子線セル、プラズマ・ラジカル・イオン源実験用装置、半導体製造装置の設計・製造・販売

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