一般財団法人材料科学技術振興財団　MST ［SEM］走査電子顕微鏡法

基本情報［SEM］走査電子顕微鏡法

試料に電子を当て、試料表面から放出される二次電子・反射電子・試料を透過した透過電子（要薄片化）の像を得ることができます。

加速電圧や材料により入射電子の拡がり方が異なり、それに伴い、観察している深さ(電子が出てくる深さ)も変わります。したがって、目的によって最適な加速電圧を選定する必要があります。

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