Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。
・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。
・ エッチング液の劣化が少ないです。
・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。
キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング
基本情報AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | お問い合わせください。 |
カタログAlダメージレスSiエッチング液（異方性）
取扱企業AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
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電子工業用薬品、試薬・化成品、特殊薬品等の 製造、販売
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