株式会社テクノビジョン洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

最終更新日：2023-04-27 16:10:05.0
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ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした洗浄装置。

『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！』

多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。

テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。

基本情報洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。

■特長：
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	TCC-803
用途／実績例	詳細は、お問い合わせ下さい。

カタログ洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

取扱企業洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

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■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。【洗浄装置関連】・カセット・キャリア洗浄装置・フォトマスク洗浄装置・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機・簡易洗浄ユニット・紫外線オゾン洗浄装置・超純水用・エアー用加熱装置【スーパークリーンヒーター】・超純水用加熱ヒーター・クリーン加熱ヒーター・簡易タイプ温度コントローラー【後工程組立関連】・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター）・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。詳細は、お気軽にお問合せ下さい。