プラズマエッチング装置　EXAM

プラズマエッチング装置　EXAMの製品画像です
エッチング／アッシングが同一装置で処理可能。プラズマエッチング装置

神港精機株式会社

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズマ処理が可能です。
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プラズマエッチング装置　EXAM　基本情報

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズマ処理が可能です。
■特長■
●高真空/小ガス流量でも放電可能なチャンバ構造
●コンパクトな設計でR&D目的に最適
●電極切り替えによりRIE（リアクティブ・イオン・エッチング）
　/DP（ダイレクトプラズマ）モード処理可能
●RIE＋DPモードによるマルチステップ処理が可能
●ロードロック室等、オプションも幅広く追加可能
●カスタマイズにより、各種量産機のご提案も可能

※詳細資料をご希望の方はお問い合わせ下さい。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※約3ヶ月
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	EXAM（エグザム）
用途／実績例	研究開発や小ロット生産に適しています。電子部品などの有機膜クリーニングや半田の濡れ性の改善、金属酸化物の還元除去など広くドライクリーニングとして安全にご利用いただけます。
よく使用される業種	産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、IT・情報通信

プラズマエッチング装置　EXAMのカタログ

EXAMカタログ

EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズマ処理が可能です。

■特長■
●高真空/小ガス流量でも放電可能なチャンバ構造
●コンパクトな設計でR&D目的に最適
●電極切り替えによりRIE（リアクティブ・イオン・エッチング）
　/DP（ダイレクトプラズマ）モード処理可能
●RIE＋DPモードによるマルチステップ処理が可能
●ロードロック室等、オプションも幅広く追加可能
●カスタマイズにより、各種量産機のご提案も可能

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[PDF:907KB]
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プラズマエッチング装置　EXAM　取扱い会社

神港精機株式会社東京支店詳細

真空ポンプ・薄膜形成装置・・投影機・プラズマ装置・精密電気炉の製造、販売を行っております。

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