ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能
＜特長＞
・カセット接触部の洗浄ムラも解消。
・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。
・消費電力を大幅にカット。
・ 槽間移動時の薬液量を少量化。
・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。
基本情報カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）
ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。
しかもファインソニック使用で、さらに品質向上。
数々のスーパークリーンテクノロジーを採用したカセットレス洗浄装置は、洗浄におけるカセットの問題点をすべて解決する半導体洗浄の決定版です。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | カセットレス洗浄装置 |
| 用途／実績例 | 半導体、ウェハー洗浄用。 |
取扱企業カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）
カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
