洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置

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洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置

サムコ株式会社

● 12〜30sec/枚の高スループットを実現。

● マガジンスタッカー装備により連続運転が可能。

● 基板全般に対応可能。

● 基板およびマガジンのサイズ変更が容易。

● タッチパネルにより操作が容易。

● プラズマドライ洗浄全般に応用が可能。
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洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置　基本情報

PXA-100は、実装プロセスでの信頼性改善に最適なマガジンtoマガジン式の自動量産型プラズマ洗浄装置です。本装置は、プラズマドライ洗浄全般に応用が可能です。特にBGAなど実装プロセスでの信頼性改善を目的とした応用では、封止性改善、ブリードアウト防止・除去などに優れた効果を発揮します。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	PXA-100
用途／実績例	● 封止性改善 ● ブリードアウト防止・除去 ● 濡れ性・接着性改善
よく使用される業種	産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、IT・情報通信

洗浄装置・プラズマ洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・アッシング装置・エッチング装置　取扱い会社

サムコ株式会社詳細

半導体等電子部品の製造・販売を行っております。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。化合物半導体に特化して30年以上研究開発を行ってきました。近年注目を集めるLED用のGaNやパワーデバイス用のSiCなどの加工を得意としております。 LEDでは一貫製造プロセスを提供できる”One Stop Solution”を提唱しており、国内のみならず、台湾・中国へも多数の納入実績を誇ります。パワーデバイス分野では、SiCの高速エッチング装置や、GaN/AlGaNの高選択比エッチングなどの技術を有し、今後の市場拡大に対応しております。

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