バッチ式プラズマアッシャー装置

バッチ式プラズマアッシャー装置の製品画像です
プラズマ自動機シリーズにアッシャー装置をラインナップしました。

ヤマトマテリアル株式会社

高性能装置を低価格でご提供。
アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。
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バッチ式プラズマアッシャー装置　基本情報

50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。
４，６インチ兼用、６，８インチ兼用、各インチ専用など柔軟に低価格で対応いたします。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	WPA600ｓ
用途／実績例	シリコンウエハ、サファイア基板等のフォトレジスト膜の灰化除去及び表面の浸水化処理。
よく使用される業種	電子部品・半導体、IT・情報通信

バッチ式プラズマアッシャー装置　取扱い会社

ヤマトマテリアル株式会社詳細

プラズマエッチャー、アッシャー＆クリーナー・バーンイン・測定用ソケット・バーンインボード・厚銅基板・LSI測定治具・マイクロスコープ・歪検出方式気密防水試験器・光通信デバイスの組立装置・ウエハハンドリング装置・各種工程内・出荷用トレイ・液晶バックライト用インバーター・マグネシウム合金成型などの製造及び販売。

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