中日本炉工業株式会社 真空脱ガス炉
- 最終更新日:2011-10-07 15:40:07.0
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ガス分析用部品、精密部品、IC部品関係等の脱ガス処理に使用!
中日本炉工業社が取扱う
真空脱ガス炉のご紹介です。
基本情報真空脱ガス炉
中日本炉工業社が取扱う
真空脱ガス炉のご紹介です
【特徴】
○ガス分析用部品、精密部品、IC部品関係等の脱ガス処理に使用し
真空度は10-5Pa台を長時間保存することにより脱ガスをおこなう
○一部にはボンバード装置を有し脱ガスを
強制的におこなうことも可能
○真空ポンプはイオンポンプ、クライオポンプ、ターボポンプなどを使用
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