- セラミック吸着プレート
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- 最終更新日：2002/10/24
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- セラミック吸着プレートの製品画像です
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- 多孔質セラミックの特性を活かした基板や薄膜の吸着ステージ
- 有明マテリアル株式会社
- 円板で４種類、丸板で２種類の標準品をご用意しております
円板
φ100×15ｔ（吸着部φ75）3インチウエハー用
φ175×15ｔ（吸着部φ151）6インチウエハー用
φ230×15ｔ（吸着部φ202）8インチウエハー用
φ300×15ｔ（吸着部φ303）12インチウエハー用
円板
200×150×15ｔ（吸着部：180×130）
300×200×15ｔ（吸着部：280×180）
※標準品以外も設計・製造いたします。
- この製品 を
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セラミック吸着プレート 基本情報
電子デバイスの高密度化が進むにあたり、より薄い基板が使用されるようになってきました。
これらの製造工程では基板の固定が重要な要素となってきます。当社のセラミック吸着プレートは多孔質セラミックの特性を活かし、基板全体を均等に固定することが可能です。
| 価格 |
標準品は60000円より |
|---|---|
| 価格帯 | 1万円以上 10万円未満 |
| 納期 |
※30日〜45日間 |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 用途／実績例 | □用途例 ・薄型半導体デバイス、３次元積層メモリ用基板の固定 ・薄膜・フィルムなどの固定 ・フィリップチップボンダー用吸着ステージ □構造 吸着部 多孔質アルミナ 平均穴径：60μｍ、気孔率：33％（代表例） 外枠部 SUS304 他 |
| よく使用される業種 | 樹脂・プラスチック、電子部品・半導体、試験・分析・測定 |
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