WL-CSP用レーザマーキング装置　MS-WLシリーズ

WL-CSP用レーザマーキング装置　MS-WLシリーズ　基本情報

SHGレーザを搭載、6インチ〜12インチウェハー対応の
WL-CSP用レーザマーキング装置

【特徴】
○チップ化とウエハーの薄型化に対応する為に
　デジタルスキャナー高精度位置補正機能、任意分割位置決め機能
　ウエハーの反りに対応したZ軸補正機能を搭載
○最小文字高さ200μｍ、マーキング位置精度±50μｍを実現
○任意分割マーキング機能
　小文字、高精度マーキングとスループットを両立する為の
　任意分割マーキング機能を搭載
○高精度位置補正機能
　ガルバノスキャナーと光学系に起因する位置ずれ誤差要因を
　装置内で高精度に自動補正
○6/8/12インチ用マガジン対応　　　　　　　　　　　　　　
○ウェハー反り対応
○高品質なブラックマーキングとホワイトマーキングが可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。