株式会社ダン・タクマ パーシャルストッカー
- 最終更新日：2010-10-01 00:00:00.0
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パーシャルストッカー
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜
◆製品特長◆
・少量の窒素で確実な窒素置換が可能
・省エネ対応
・窒素置換スピードが従来品と比べて速い
・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ）
・ノンシール工法による有機ガス汚染防止
・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる
基本情報パーシャルストッカー
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜
◆製品特長◆
・少量の窒素で確実な窒素置換が可能
・省エネ対応
・窒素置換スピードが従来品と比べて速い
・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ）
・ノンシール工法による有機ガス汚染防止
・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ◆用途◆ ・シリコンウエーハ、ガラス基板等の自然酸化膜抑制及び吸湿防止 ・精密部品の酸化防止 |
カタログパーシャルストッカー
取扱企業パーシャルストッカー
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●ケミカル・エア・フィルタ関連機器 ●クリーンエア装置（省エネ対応・ケミカル対応可） ●半導体・ＬＣＤ関連装置 ●クリーンルーム設計・施工・管理 ●クリーンルーム用部材 ●クリーンルーム関連機器
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