超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム

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位置決め精度10nm！超音波モーター駆動ステージシステム。

キヤノンプレシジョン株式会社

超音波モータと精密ボールねじをリジッド・カップリングで固定。テーブル直下のリニアエンコーダ信号をフィードバックし、クローズドループ制御で高精度位置決めを行います。
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超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム　基本情報

【特長】
●超音波モータを駆動源として繰り返し位置決め精度10nmを実現。

●ステージサイズは□60、80、120で各々真空非磁性対応モデルもラインアップ。

●超音波モータの特性をいかし、停止時は保持トルクを有し、
　非通電で振動・発熱がなく、また発塵もありません。

●大きな保持力がありますのでZ方向にもご使用できます。

●また、電子顕微鏡の標準試料室サイズφ200、φ300に各々対応した
　位置決め分解能100nm、X-Yステージシステム、ロングストロークタイプなどの
　応用製品もご用意しています。

詳しくは、お問い合わせからお願いいたします。

価格	-
価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※３ヶ月
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	US120,US80,US60,US23
用途／実績例	光ディスク製造装置電子顕微鏡関連装置電子線描画装置レーザ描画装置原子間力顕微鏡ナノインプリント装置光学干渉計
よく使用される業種	産業用機械、電子部品・半導体、教育・研究機関

超音波モータ駆動10ナノ位置決めステージシステム　取扱い会社

キヤノンプレシジョン株式会社東京営業所詳細

・モーションコントロール（精密マイクロモータ・超音波モータ　及び制御システム）機器の開発・製造・販売・センサー類のクリアモールドパッケージの製造・LBP・小型複写機用トナーカートリッジの製造

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