「ウエハ」がつけられた製品一覧

太陽電池製造装置にも最適。高精度位置決めを実現。最大トルク1000～5800N・mをラインアップ

大イナーシャ負荷の高精密・高速位置決めに最適なDDモータ 最大約1843万パルスの超高精度な分解能と、1rps以上の高速運転を両立します。 SSCNET3／MECHATROLINK-3／CC-Li…（つづきを見る）

• 日機電装株式会社

CFRP（カーボン）製半導体ウェハ搬送ロボット部材。軽量・高強度・高剛性・制振性が高いというCFRPの特性を活かした製品です。

CFRP（カーボン／炭素繊維強化プラスチック）は「軽量」「高強度」「高剛性」「振動減衰性が高い」という特性を持っており、産業機械（ロボットなど）のアームやハンドなどの部材に最適な素材として利用されてい…（つづきを見る）

• 株式会社O-KEI樹脂

独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現！

SERIOは高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置です。 電子分野からMEMS、ナノインプリント分野における高アスペクトエッチングに最適なシステム構成です。

• 神港精機株式会社 東京支店

薄さ：44.5mm～。速度変動率±0.15%。薄型・高精度タイプDDモータ

等速安定性、高い位置決め精度を追求。精密機械、装置に最適です。 SSCNET3・MECHATROLINK-3・CC-Link・DeviceNetの各種ネットワークに対応。

• 日機電装株式会社

太陽電池製造装置、FPD基板製造装置等のアライメント動作に最適！必要動作角のみの設置で、ピンポイントドライブを実現

装置の省スペース化、コストダウン化を実現するアライメント駆動用高精度・円弧型リニアモータです。 SSCNET3／MECHATROLINK-3／CC-Link／DeviceNet対応 ★☆★詳細…（つづきを見る）

• 日機電装株式会社

低電圧（DC24V)仕様サーボドライバ。小型ロボット等の制御に最適

使いやすさと性能を追求した多機能型サーボドライバ 文庫本サイズのコンパクト設計

• 日機電装株式会社

定格推力50N～200N。コストパフォーマンスに優れ、搬送用途に最適

高効率なマグネット配列で、経済的なコアレスタイプリニアを実現。ストロークが長くなる程、経済性を発揮します。 MECHATROLINK-3／CC-Link／DeviceNet対応

• 日機電装株式会社

搬送用途に最適なローコストリニアステージ

スケールレスリニアセンサ採用でコストパフォーマンスを追求！ X・XY・Xθ・XYθステージも簡単に構築可能。 SSCNET3／MECHATROLINK-3／CC-Link／DeviceNet対応

• 日機電装株式会社

ＣＦＲＰ(カーボン)製 半導体製造装置部材。 軽量・高強度・高剛性・振動減衰性が高いというCFRPの特性を活かした製品です。

CFRP（カーボン／炭素繊維強化プラスチック）は「軽量」「高強度」「高剛性」「振動減衰性が高い」という特性を持っており、産業機械（ロボットなど）などの部材に最適な素材として利用されています。 当社で…（つづきを見る）

• 株式会社O-KEI樹脂

定格推力320N～1000N。コストパフォーマンスに優れ、大負荷・長距離搬送に最適

最大推力960N～3000N。高効率なマグネット配列で、経済的なコアレスタイプリニアを実現しました。 MECHATROLINK-3／CC-Link／DeviceNet対応

• 日機電装株式会社

太陽電池製造装置、大型FPD基板のアライメント動作に最適。必要動作角のみの設置で、ピンポイントドライブを実現

大イナーシャ負荷の高精度位置決めに最適。アライメント駆動用高精度・円弧型リニアモータです。 SSCNET3／MECHATROLINK-3／CC-Link／DeviceNet対応

• 日機電装株式会社

必要動作角の円弧動作から、1回転動作まで。中空軸が必要な用途にも最適な円弧型リニアモータ

FPD基板製造装置のアライメント動作や、45°円弧型マグネットベース8個の連結により、φ250mmの中空軸も実現。 アライメント装置、ウエハ検査装置に最適な高精度・円弧型リニアモータ。 SSCNE…（つづきを見る）

• 日機電装株式会社

必要動作角のみの設置で、アライメント用途に最適な円弧型リニアモータ【サーボコンパス】のご提案

日機電装独自の円弧型リニアモータの活用例をご紹介

• 日機電装株式会社

リニアサーボモータ総合カタログ無料進呈！高性能・ローコスト・コンパクト・小/大推力タイプなど豊富にラインアップ

30機種を標準ラインアップ。 高精度、等速安定性能、ローコストなどお客様のニーズを満たす日機電装の【τリニア】シリーズ。 モータ・オプション・組合せドライバまで、必要なアイテムを一括掲載。

• 日機電装株式会社