「ターボ分子ポンプ」がつけられた製品一覧
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最終更新日：2011/05/27
小型高真空排気装置 VTR-350M/X［DEPOXシリーズ］
架台内にメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（油回転真空ポンプ）・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。 DEPOXシリーズは、排気…（つづきを見る）
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最終更新日：2011/05/27
小型高真空排気装置 VTS-350M/X［DEPOXシリーズ］
架台内にメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（スクロールポンプ）・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。 DEPOXシリーズは、排気…（つづきを見る）
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最終更新日：2012/03/21
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）
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最終更新日：2010/11/19
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最終更新日：2012/03/30
低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベ…（つづきを見る）
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最終更新日：2012/03/05
腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 大気突入に強い堅牢設計。
小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。
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最終更新日：2012/03/05
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最終更新日：2012/03/06
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！
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最終更新日：2012/03/06
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響を…（つづきを見る）
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最終更新日：2012/03/05
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最終更新日：2012/03/05
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最終更新日：2012/03/26
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最終更新日：2012/03/05
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！
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最終更新日：2012/03/21
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。…（つづきを見る）
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