「ＭＥＭＳ」がつけられた製品一覧

表面改質に特化した卓上型真空プラズマ装置！ワンタッチの簡単な操作性で安価な価格帯です。多数の導入実績有り♪

詳しくはカタログをダウンロード下さい。 表面改質に特化した卓上タイプの真空プラズマ装置です。 「いままで接着・塗装が難しかった材質に処理できた！」との反響多数！ 樹脂・金属・ガラス・繊維など様々…（つづきを見る）

• 株式会社魁半導体

従来、CEAによる解析しかできなかったMEMS製品の応力分布(熱弾性応力）を非接触かつ短時間に可視化できる装置です。

●赤外線カメラによるMEMSの非接触応力観察装置　●応力分布および応力集中部の検出による破壊原因の解明　●応力集中部に発生する疲労破壊の予測と強度設計データの構築　●各種振動モード搭載　●1MPaオー…（つづきを見る）

• JFE商事エレクトロニクス株式会社 環境・計測機器営業部　計測機器営業室

MEMS 試験やR&D 用のオールイン・ワンシステム

TVホログラフィー振動変位解析システム「MEMSMap510」は、面内振動（In-Plane）と面外振動（Out-of-Plane）を測定します。MEMS構造のモデリングや設計ではその微細構造の挙動が…（つづきを見る）

• 有限会社シスコム

高純度のXeF2（2フッ化キセノン）

ドライエッチング装置のエッチングキャリアガスとなる。また装置のクリーニング材として効果的で使いやすい。 常温では白色の固体ガス。

• 株式会社テックサイエンス

カラーレーザー・ポケットプロジェクタは焦点合わせが不要！

○鮮明なカラー ○ピント（焦点合わせ）調整不要 ○高いコントラスト比 ○大きな映像 ○低電力消費で携帯に最適 ○設置場所を選ばない

• テクノハンズ株式会社

超小型レーザセンサのキーパーツ 2次元MEMSスキャナミラー

【特徴】 ○水平と垂直方向で、ビームスキャナ光線を同期して制御可能 ○視覚波長範囲の光学反射率を上げるアルミニウムコートミラーを採用 ○静電タイプ方式で、モノリシックミラーとミラーアクチュエータ…（つづきを見る）

• テクノハンズ株式会社

シーム溶接のパッケ-ジへリッドを画像認識方式により高精度に搭載します。

水晶＆SAWデバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止する装置です。

• 日本アビオニクス株式会社

水晶デバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止します。

研究開発から生産まで多彩な生産モードを搭載した、真空封止/半自動シーム溶接機です。

• 日本アビオニクス株式会社

水晶デバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止します。

シングルヘッド型とツインヘッド型をご用意した、窒素封止/半自動シーム溶接機です。

• 日本アビオニクス株式会社

水晶デバイス、光デバイス、センサー、MEMS等のパッケージをシーム溶接により気密封止します。

最速マシンタクト1.5秒＆高稼働率の真空封止/全自動シーム溶接機です。

• 日本アビオニクス株式会社

水晶、MEMS等のセラミックパッケージをシーム溶接により気密封止します。

シーム溶接による、「水晶デバイス/MEMSの気密封止」の接合事例のご紹介です。 シーム溶接は1度に接合する面積が微小なので低い加圧力、小さな溶接電流で済みセラミック等のパッケージなどに適しています。

• 日本アビオニクス株式会社

精密部品の保管/搬送にお困りではございませんか？ タックキャリアが解決します！

MEMSやICチップ、レンズや電子部品等の多彩な精密部品に御利用頂けます。 研究開発や学会・展示会、客先サンプル等の多くの場面で使用可能です。

• 大日商事株式会社

計測範囲：50gから2000g 液体ダンプ温度補正 SAE J2570 準拠 小型 頑丈なケーブルデザインの加速度センサー

Model 40A は、小型ピエゾ抵抗型加速度計(加速度ピックアップ、加速度センサー)で、最新のSAE J211/J2570(AUG2009)規格に準拠するようデザインされています。 …（つづきを見る）

• エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響を…（つづきを見る）

• 株式会社大阪真空機器製作所