「QIII」がつけられた製品一覧
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最終更新日：2011/09/22
半導体製造装置等の定期的な清掃作業後、チャンバーや構成部品などの迅速な清浄度管理に！
QIII Maxは真空装置のチャンバーなどの表面にある粒子（パーティクル）を手軽に測定する為の計測器です。ダミーウェーハ等を利用した従来のパーティクル管理方法と比較して、真空引きが不要な為、装置メンテ…（つづきを見る）
価格帯 その他 納期 その他
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最終更新日：2012/03/07
待望の感度0.1μｍ！ プロセス装置メンテナンス後の立上成功率を向上。表面清浄度管理のスタンダード、ＱＩＩIシリーズに新製品登場
QIII Ultraは真空装置のチャンバーなどの表面にある微粒子（パーティクル）を手軽に測定する為の計測器です。ダミーウェーハ等を利用した従来のパーティクル管理方法と比較して、真空引きが不要な為、装置…（つづきを見る）
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