「ULVAC」がつけられた製品一覧

油が漏れない真空ポンプ

マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れが無くなり、長寿命化を達成。マグネットカップリング構造と合わせて排気音低騒化設計により、低騒音化を達成。吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、…（つづきを見る）

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油が漏れない真空ポンプ

マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れが無くなり、長寿命化を達成。吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、ポンプ停止時にポンプ内部が自動的に大気開放され、真空槽内を油で汚染させません…（つづきを見る）

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ターボ分子ポンプ排気装置　VPT-030

架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。 半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリー…（つづきを見る）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DA-20D

ゴムの膜（ダイアフラム）を往復運動し、真空排気を行うダイアフラム型ドライ真空ポンプです。

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DAT-100S

ゴムの膜（ダイアフラム）を往復運動し、真空排気を行うダイアフラム型ドライ真空ポンプです。

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DAT-50D

ゴムの膜（ダイアフラム）を往復運動し、真空排気を行うダイアフラム型ドライ真空ポンプです。

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小型油回転真空ポンプ　GCD-201X

接ガス部面に表面処理を施した、ケミカルタイプの真空ポンプです。 化学業界、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶液を扱う真空引きに最適なポンプです。

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小型油回転真空ポンプ　GCD-136X

接ガス部面に表面処理を施した、ケミカルタイプの真空ポンプです。 化学業界、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶液を扱う真空引きに最適なポンプです。

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DA-30D

ゴムの膜（ダイアフラム）を往復運動し、真空排気を行うダイアフラム型ドライ真空ポンプです。

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DA-30S

ゴムの膜（ダイアフラム）を往復運動し、真空排気を行うダイアフラム型ドライ真空ポンプです。

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小型油回転真空ポンプ　GLD-201B

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、簡単な結線変更で多くの電圧に対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備しています。

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小型油回転真空ポンプ　GLD-201A

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、簡単な結線変更で多くの電圧に対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備しています。

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小型油回転真空ポンプ　GLD-136C

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、簡単な結線変更で多くの電圧に対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備しています。

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小型油回転真空ポンプ　GLD-136A

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、簡単な結線変更で多くの電圧に対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備しています。

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