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分光分析装置の設計・製作・販売を手掛けるスペクトラ・コープ
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査（膜厚測定、プラズマモニターなど）をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発
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