- 製品・サービス
363件 - メーカー・取り扱い企業
企業
18件 - カタログ
86件
-
-
-
PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100
GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…
『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。 最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス（...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
-
-
-
-
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
真空・プロセスガス高速アニール装置『RTP/VPOシリーズ』
最大到達温度1,000℃！試作開発用途のほか、インラインシステムにも組…
『RTP/VPOシリーズ』は、卓上型タイプの 真空・プロセスガス高速アニール装置です。 SiCの熱酸化プロセス及びGaNの結晶成長など高い純度や安定性を 要求される研究開発に適している「RTP-150」をはじめ「RTP-100」や 「VPO-1000-300」を...
メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社
-
-
-
-
-
大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
残留応力を取り除くため、一定時間一定温度で加熱した後、徐々に温度を常温…
一般的にプラスチックのアニール処理は主に歪み取りが目的になります。 多くのプラスチックは高い圧力で金型に押し込められた状態で冷却されるため 歪みが発生する場合があり、これを残留応力とも言います。 寸法を重視する精...
メーカー・取り扱い企業： 多田プラスチック工業株式会社
-
-
-
-
小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
高温でもフィルム縮みを防ぐ新技術！タッチパネルや電子部品フィルムなどに…
ＰＥＴフィルムは、収縮するものと、材料選定を諦めてはいませんか？『スーパーアニールフィルム』は、「超低収縮化＆熱シワ抑制技術」で実現した、超低収縮ＰＥＴフィルムです。タッチパネルや電子部品の精密機器等に最適のＰＥＴフィルム。 ＰＥＴフィルムごとの寸法のバラつきを抑え、寸法精度の...
メーカー・取り扱い企業： アイム株式会社
-
-
-
-
超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…
ギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロスコンタミネ...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
-
-
-
-
コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』
GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…
『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
-
-
-
-
化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ウェハやガラス等の多種基板の処理可能 幅広い用途対応した可変雰囲気熱処…
当社では、真空・酸素雰囲気(常圧)・還元雰囲気(常圧)の雰囲気での 処理が選択できる急昇降温型の「横型アニール装置」を取り扱っています。 6インチまでの各種基板(ウェハ、セラミック、ガラス、実装基板)の処理に 対応しており、薄膜やウェハのアニール、ナノ金属ペーストの焼成、 有機材のキュアなど多く...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
大面積で一括照射・高照度での照射が可能！複数パルスの照射もできる加熱装…
『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1～60msecの範囲を任意に可...
メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社
-
-
-
-
-
アニール処理にお悩みの方必見！コンパクトな遠赤外線アニール炉
応答性に優れた遠赤外線ヒーターと熱風加熱の併用により、均一に加熱するこ…
『遠赤外線アニール炉』は、樹脂成形品のアニール処理を画期的に変える システムです。 遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮。 処理時間が短くなる事により、コンパクトな連続炉とな...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エコム 本社 「ヒートスクエア」
-
-
-
-
ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、…
『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、...
メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社
-
-
-
-
-
寸法安定度が低い樹脂製品でも！アニール処理などで寸法精度を高める提案を
な穴に薬品を通す為、一般化学薬品・溶剤など 様々な流体(液体・気体)に侵されることがないフッ素樹脂を採用。 また、フッ素樹脂は切削加工だと寸法安定度が低い為、通常公差±0.1 程度ですがアニール処理を行うことにより公差±0.05程度まで 抑えることが可能です。 【事例概要】 ■名称：フッ素樹脂製特殊ガスケット ■材質：フッ素樹脂 ■寸法：外径φ100×内径φ75 穴φ1.5...
メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社
-
-
-
-
遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮
遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮します。 樹脂成形品のアニール処理を画期的に変えるシステムです。 ●処理時間の大幅短縮 遠赤外線の放射加熱及び熱風拡散を併用する事により処理時間を大幅に短縮できます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
-
-
-
-
加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可...
メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社
-
-
-
-
-
高温イオン注入・高温アニール受託サービス【SiC、GaN等】
SiC等のデバイス作製に適した高温イオン注入や、ドーパント活性化のため…
SiC（シリコンカーバイド）、GaN（窒化ガリウム、ガリウムナイトライド）等の化合物半導体では、デバイス作製に適した高温イオン注入やドーパント活性化のための高温アニールが必要とされます。弊社では、高温イオン注入や高温アニールのリクエストにお応えします。 また、アニール時の温度が高温のため、アニール前のキャップ膜による表面保護が必要になります。弊社では高温ア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター
-
-
-
-
炉内アニールの世界市場規模、シェア、動向分析調査レポート2023-20…
2023年7月10日に、QYResearchは「グローバル炉内アニールに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。炉内アニールの市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキ…
クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。 中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理 真空だけでなく各種雰...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置
大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計・製作 ■成膜装...
メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社
-
-
-
-
品質保持の為、必要に応じて応力緩和のアニール処理をしております！
『アニール処理』は、できあがった成形品を専用のオーブンにいれて 加熱処理することで残留応力、残留歪みを取り除く処理のことです。 当社では、品質保持の為、必要に応じて応力緩和のアニール処理を してお...
メーカー・取り扱い企業： サンエツ工業株式会社
-
-
-
-
【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL
照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です
Si系半導体デバイスの作製ではイオン注入やアニール処理といった様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセン...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…
【ランプアニール装置】 最適温度でのアニール処理によるタクトタイムの向上のため、ステージの冷却が必要です。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ
-
-
-
-
シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例を…
半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカから...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社西野製作所
-
-
-
-
熱源はSiCヒーターを採用！高いクリーン性能を実現した高純度アニール炉
『石英ガラス 高純度アニール炉』は、アニール工程における 石英ガラス製品の表面汚染を大幅に減少させることが可能です。 ステンレス炉体と高純度断熱材を採用し、高いクリーン性能を実現。 処理製品の大口径化、長尺化に...
メーカー・取り扱い企業： アドバンエンジ株式会社
-
-
-
-
ガラスのアニールの世界市場調査レポート YH Research
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルガラスのアニールのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を11月16日に発行しました。本レポートでは、ガラスのアニール市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
-
-
-
-
半導体アニール炉に関するグローバル市場分析、市場規模、販売量、売上高、…
2023年4月12日に、QYResearchは「グローバル半導体アニール炉に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。半導体アニール炉の市場生産能力、生産量、販売量、売上高...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
熱アニール熱分解グラファイトの世界市場動向分析2023-2029
熱アニール熱分解グラファイトに関するグローバル市場分析、市場規模、販売…
2023年10月19日に、QYResearchは「グローバル熱アニール熱分解グラファイトに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。熱アニール熱分解グラファイトの市場生産...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
高温でもフィルム縮みを防ぐ新技術。耐熱樹脂フィルムに相当する熱収縮率で…
ＰＥＴフィルムは、収縮するものと、材料選定を諦めてはいませんか？『スーパーアニールフィルム』は、「超低収縮化＆熱シワ抑制技術」で実現した、超低収縮ＰＥＴフィルムです。タッチパネルや電子部品の精密機器等に最適のＰＥＴフィルム。 ＰＥＴフィルムごとの寸法のバラつきを抑え、寸法精度の...
メーカー・取り扱い企業： アイム株式会社
-
-
-
-
光学フィルムなどのデリケートな素材に傷を付けることなく円滑に洗浄！
ラインにしています。 【特長】 ■特許取得済 ■振動・水流・マイクロバブルの組み合わせ ■表面に貼りついたごみやほこり、皮脂や油脂を除去 ■テスト機では洗浄後にエアナイフで水を切り、アニール炉でのアニーリングや乾燥が可能 マイクロバブルを併用すると分散した汚濁物の凝集効果や浮上分離を促進します。 加えて振動がマイクロバブルを機械的に壊すためさらに効果が上がります。 ハイブリ...
メーカー・取り扱い企業： SANDO TECH株式会社
-
-
-
-
-
R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
-
-
-
-
熱収縮を防ぎ品質安定！電子パネル等に適した低熱収縮PETフィルム
高温でもフィルム縮みを防ぐ新技術！タッチパネルや電子部品フィルムなどに…
『アニールフィルム』は熱収縮を防ぎ、さらに収縮率までコントロールできる、タッチパネルなど精密機器等に好適なＰＥＴフィルム。 フィルムごとの寸法のバラつきや、カール（反り）を抑制し、製品品質の向上や歩留...
メーカー・取り扱い企業： アイム株式会社
-
-
-
-
プラスチック製品のアニール処理による、遠赤外線加熱の効果について解説
際、金型内部の位置によりプラスチックに温度差が生じるので歪みとなります。 これが寸法の変化、結晶化、耐候性劣化等さまざまな物性低下の原因となって います。そこで再加熱し歪みをとることをアニール処理といいます。 この処理には精密な温度分布と正確な温度制御が必要になり遠赤外線加熱の 得意とする分野となります。 従来は熱風式の固定炉で時間をかけて処理していました...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社AMK
-
-
-
-
SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…
安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
【加工のワンポイント講座】加工品の変形を防ぐ『アニール処理』
熱を加えることによって材料・商品の残留応力を取り除き、品質を向上！
『アニール処理』とは、熱を加えることによって材料・商品の残留応力を 取り除く処理のことです。 残留応力をそのままにしておくと歪みが生じたり、外力が加わった時や 塗料や溶剤に触れた時、そこから応力を...
メーカー・取り扱い企業： 湯本電機株式会社
-
-
-
-
【精密切削加工事例】テフロン製半導体製造装置向けマニホールド
そりは0.2mm程度！独自の切削加工方法に加え、アニール処理と呼ばれる…
ホールドのサイズであれば1mm～2mm程度反ってしまいます。 こうした反りやすいPTFE(テフロン)に対して反りを極力抑えるように指示が ありましたので、当社では独自の切削加工方法に加え、アニール処理と 呼ばれる熱処理を行うことで、そりを0.2mm程度に抑えています。 【事例概要】 ■名称：テフロン製半導体製造装置向けマニホールド ■材質：PTFE（テフロン） ■寸法：80×...
メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社
-
-
-
-
高速熱加工・アニール（RTP-A）システムの世界市場レポート
高速熱加工・アニール（RTP-A）システムの世界市場規模、シェア、動向…
2023年5月22日に、QYResearchは「グローバル高速熱加工・アニール（RTP-A）システムに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。高速熱加工・アニール（RTP-A）...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
半導体製造装置向けの吸着パッド！加工時の温度管理や材料のアニール処理を…
ように樹脂の中では軟らかく摩擦係数の極めて低い PTFEを選定。 23℃付近に特有の転移点があり寸法変化が大きくなるため寸法出しが非常に 難しい材料になりますが、加工時の温度管理や材料のアニール処理をして 対応しています。 【事例概要】 ■名称：PTEE製吸着パッド ■材質：PTFE ■寸法：220φX30H ■精度：±0.05 ■特長：精度の出しにくいPTEE素材を反...
メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社
-
-
-
-
高速熱加工・アニール（RTP-A）システムの世界市場調査レポート
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル高速熱加工・アニール（RTP-A）システムのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を3月27日に発行しました。本レポートでは、高速熱加工・アニール（RTP-A）システム市場の製品定義、分類、用途、企業、産...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
-
-
-
-
遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉
当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 （特長） ●早い加熱処理 例その１：自動車ヘッドランプ 溶着後の歪除去 ６０分⇒５分 例その２：ＩＣトレー ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
-
-
-
-
生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
-
-
-
-
「熱による変形を防ぎたい」「寸法や形状を安定させたい」といったお悩みが…
通常、熱が加わると基材が大きく縮みます。 しかし『アニール加工』をあらかじめ熱処理をすることで 縮み量が小さくなり、熱が加わっても基材がほとんど縮みません。 『アニール加工』は、各種フィルムに熱処理加工を施すことにより、 次工程以降での耐熱寸...
メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社
-
