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16件 - メーカー・取り扱い企業
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PR加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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PR高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介
当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介し...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL
照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です
Si系半導体デバイスの作製ではイオン注入やアニール処理といった様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセン...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
MTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.試料と...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【図表】 図1~図13 断面像、界面層の高分解能TEM像、電子回折パターン、原子分解能平面HAADF-STEM像・STEM像、結晶欠陥の原子分解能平面HAADF-STEM像 イオン注入後、アニール処理後分析結果、注入量、アニール処理温度の異なる試料のCL強度比較、キャリア濃度とdC/dV信号強度の関係...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌 202102-03 XAFSによる半導体中の状態評価
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
XAFS評価 5.おわりに 【図表】 図1 As K端XANESスペクトル 図2 As K端FT-EXAFSスペクトル 表1 As K端FT-EXAFSカーブフィッティング結果 図3 アニールありおよびアニールなしにおけるヒ素の状態および周囲構造のイメージ 図4 P K端XANESスペクト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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分析事例:DSC・DMAによる熱可塑性・熱硬化性樹脂の特性解析
DSC(示差走査熱量計)、DMA(動的粘弾性測定装置)等による熱特性解…
塑性樹脂・熱硬化性樹脂の特性解析に用いられる代表的な DSC、MDSC、DMA等について簡単に解説した「技術資料」を進呈中です! 【掲載概要】 ・CFRTP(炭素繊維-熱可塑性樹脂)の熱アニールの影響 ・Modulated DSCによるガラス転移と硬化の解析 ・粘弾性測定による樹脂のガラス転移温度決定 ・ポリ塩化ビニルにおける可塑剤添加量の影響 ※資料は「ダウンロード」ボタン...
メーカー・取り扱い企業: ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社 (TAInstruments)
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性能確認のための良品特性測定、不良特性測定や信頼性評価をすることが出来…
印加し TFTにストレスを与えたときのVthシフトを測定し、信頼性確認を行います。 【特長】 <TFTの各温度での電気特性測定> ■パネル内の画素TFTに対して電気特性測定が可能 ■アニール前後、光照射、加温や冷却下で測定できる ■測定結果からIon、Ioff、Vth、移動度の指標を算出 ■良品解析での実力値の確認や不良原因の解明を行う ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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シリンジに合わせた設計から装置に合わせたシリンジへ!
当製品は、クロマトグラフィー分野をはじめとし、生化学、医療用検査、 精密分注を必要とする産業用設備等の幅広い分野で採用されている 特殊シリンジです。 アニール処理をした、経年変化のほとんどない硬質ガラス素材を使用し、 内面は均一に鏡面仕上げが施されているので、安定した精度が長く持続 します。 ユーザー様各々の用途や使用条件に応じた最適のシリン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社伊藤製作所 東京オフィス
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マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価
2元& 3元コンビ成膜に対応 ■PCからのレシピ入力&自動成膜に対応 ■タッチパネルで簡単操作(自動排気、成膜プロセス) ■基板加熱可能(標準仕様:最高650℃) ■ロードロック室での高温アニール可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コメット
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真空・各種ガス雰囲気での高温アニール装置で、赤外線加熱による急速昇温、…
・円筒上真空チャンバー外周には、8個の真空ポートがついた拡張性の高い真空チャンバーを採用。 ・上面が大きく開き、試料の設置・取出し作業が容易にできる。 ...最高昇温速度 150℃/sec、加熱時間 1500℃まで約1min 熱源からの放出ガスや電磁誘導の影響を与えないクリーン加熱 高温の試料を観察できるオプションも用意しています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーモ理工
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弊社は英国スタルナ社の輸入指定代理店として分光光度計用セルを長年販売し…
同社の分光光度計セルは一部を除き、接着剤を一切使用せず熱のみでセルを均一に溶着する熱溶着法で製造しています。また綿密な焼き戻し(アニール)工程により溶着後のひずみを取り除くとともに、物理的強度・耐薬品性を最大限に強化しています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイシス
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松浪硝子工業株式会社『ファインガラステクノロジー』製品カタログ
産業界からの幅広いニーズにフレキシブルに対応できるガラス製品が満載!
【掲載製品】 ■イメージセンサー用カバーガラス ■レーザーダイオード用カバーガラス ■赤外カットフィルターガラス ■各種フィルターガラス ■極薄板ガラス ■ソリ修正・アニール処理ガラス ■ディスプレイ用基板ガラス ■化学強化ガラス ■ガラス熱成形加工品 ■ガラス成形・曲げ加工品モデル ■レンズアレイガラスシート(開発品) ■封着用ガラス/LTCC用ガラスフ...
メーカー・取り扱い企業: 松浪硝子工業株式会社
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自動車の技術革新と部品の信頼性を支える熱制御・環境創造技術
本資料では、当社が開発するエンジン吸入空気調節装置や、 遠赤外線アニール機、オイルフィルター試験装置をはじめとする 試験装置についてご紹介しています。 耐久性・耐寒・耐熱性などの試験装置として 自動車業界での納入実績も数多く、 自動車内部に組み込まれる各種...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社二葉科学
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安価設備で効果絶大!ガス対策も一挙解決!短時間充填の実現ツールのご紹介
【検証結果例】 ■製品 加工検証結果 ・CDV使用前:0.5~1.0の巣が点在 ・CDV使用後:初期0/50で深く削っても0⇒断然効果あり ■熱処理 アニール処理 250℃ 4時間 ・CDV使用前:膨れあり ・CDV使用後:膨れ無し⇒ガス量が少ないとの感触 ■メンテナンス ・CDV使用前:- ・CDV使用後:高速前にバルブを閉じるので安定して...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイレクト21 本社工場
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インプラ後のドーズ量モニタリングとアニール処理前後のジャンクション深度…
【装置の原理】 ■Generation Laserは過剰少数キャリアを発生させ、明らかなダメージが存在するところを熱します ■過剰少数キャリア勾配は屈折勾配のインデックスを形成します ■Probe Laserはジャンクション深さ、ドーズレベル、PAI深さを測定するために屈折勾配インデックスまたは表面の熱情報を利用します ■Generation Laserは2kHzに変調され、これにより...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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雰囲気制御下での前処理および深さ方向分析が可能です
p型・n型材料の活性層を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。 成膜後アニール処理をすることで、開回路電圧の変化なくフィルファクターの向上に伴い光電変換効率の向上が見られた試料について、TOF-SIMS深さ方向分析を行いました。その結果、PEDOT:PSS層との界面において...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です
窒化ガリウムGaNは、熱伝導率が大きい点や高耐圧といった特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。その製造工程では、結晶欠陥の無い高品質なGaN結晶の作製が求められるため、イオン注入などによるダメージやその回復度合いの確認は重要な評価項目となっています。 本資料ではXAFSによってGaN基板へのイオン注入によるダメージを評価した事例をご紹介します。 GaN表面近傍における...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』
“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール…
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 -
【導入事例集進呈】オーダーメイド 製造機械の実績を大公開
セラミック加工機やティーアップ装置などへ導入した事例をまとめて…
株式会社西野製作所