各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【精密切削加工事例】フッ素樹脂製特殊ガスケット

寸法安定度が低い樹脂製品でも！アニール処理などで寸法精度を高める提案を

な穴に薬品を通す為、一般化学薬品・溶剤など 様々な流体(液体・気体)に侵されることがないフッ素樹脂を採用。 また、フッ素樹脂は切削加工だと寸法安定度が低い為、通常公差±0.1 程度ですがアニール処理を行うことにより公差±0.05程度まで 抑えることが可能です。 【事例概要】 ■名称：フッ素樹脂製特殊ガスケット ■材質：フッ素樹脂 ■寸法：外径φ100×内径φ75　穴φ1.5...

メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社

【エアロフィックス導入事例】A社様

部分吸着が威力を発揮！安定したワークの浮上により作業効率と品質の向上を…

A社様は、レーザーアニールでワークに光をあてるためピント合わせが 難しく、ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、 従来チャックではしっかり固定できず困っていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 精密...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテム

カットサンプル提供中！工業炉の省エネ・熱対策ならお任せください

放熱がひどく環境が悪化していたアニール炉に「えこきーぱー」を施工した事…

自動車部品工場の省エネ対策・環境対策を行った事例をご紹介いたします。 以前より採用していただいている自動車部品メーカー様。別のアニール炉で 施工している「えこきーぱー」の省エネ効果が出ているため、保温等は 一切せず放熱がひどく環境が悪化していた工場内のアニール炉の環境対策での 施工をご依頼いただきました。 関連リンク...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アール・シーウメハラ 本社

【精密切削加工事例】PTFE製吸着パッド

半導体製造装置向けの吸着パッド！加工時の温度管理や材料のアニール処理を…

ように樹脂の中では軟らかく摩擦係数の極めて低い PTFEを選定。 23℃付近に特有の転移点があり寸法変化が大きくなるため寸法出しが非常に 難しい材料になりますが、加工時の温度管理や材料のアニール処理をして 対応しています。 【事例概要】 ■名称：PTEE製吸着パッド ■材質：PTFE ■寸法：220φX30H ■精度：±0.05 ■特長：精度の出しにくいPTEE素材を反...

メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社

耐熱透明樹脂（開発品）

アクリルの透明性を維持したまま、耐熱性、耐久性に優れています。

【耐熱性】 ■Tg(℃) 　・条件：始点法 　・IX-1-RM-104：124 　・IX-1-RM-200：130 　・PMMA：106 ■HDT(℃)(1.8MPa;アニール後) 　・条件：ASTM D648 　・IX-1-RM-104：110 　・IX-1-RM-200：122 　・PMMA：99 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本触媒

研磨機部品に付着した研磨剤洗浄【※無償テスト実施中！】

歩留まりアップや品質安定に最適な洗浄剤！定期的な設備、配管付着研磨剤洗…

ル洗浄剤『ダッククリーンＷＳＣ』 特徴…中性 ※自社で洗浄から廃液処理まで可能 　クーリングタワー、熱交換器、チラー、 　反応釜のジャケット内、金型の冷却管等 ■写真例（4枚目）…アニール装置内配管 ※配管内スケールを削り取りお送りいただければテストを行います。 詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファーストダック

ガラス分析用ガラス器具『テンパックス板』

すぐれ耐熱性と耐熱衝撃性！

【仕様】 [粘性的特性] ■作業点…1270℃ ■軟化点…820℃ ■アニール点…560℃ ■歪点…518℃ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クライミング

ルミラー　Ｔ６０　１８８ミクロン　Ａ４（１００枚）

高透明ＰＥＴフィルム（ポリエステルフィルム）　高精度型抜き加工も可

問い合わせ下さい。） ※高精度の型抜き加工も承ります。 　（加工内容により、ご希望に添えない場合もございますので、 　　詳細は、お問い合わせ下さい。） ※フィルムの反り軽減のためのアニール加工も承ります。 　（別途、御見積いたしますので、詳細はお問い合わせ下さい。）...

メーカー・取り扱い企業： 松原商事株式会社

研磨機部品に付着した研磨剤をキレイに洗浄【※無償テスト実施中！】

歩留まりアップや品質安定に最適な洗浄剤！定期的な設備、配管付着研磨剤洗…

ル洗浄剤『ダッククリーンＷＳＣ』 特徴…中性 ※自社で洗浄から廃液処理まで可能 　クーリングタワー、熱交換器、チラー、 　反応釜のジャケット内、金型の冷却管等 ■写真例（4枚目）…アニール装置内配管 ※配管内スケールを削り取りお送りいただければテストを行います。 詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファーストダック

ルミラー　Ｔ６０　２５０ミクロン　Ａ４（１００枚）

高透明ＰＥＴフィルム（ポリエステルフィルム）　高精度型抜き加工も可

問い合わせ下さい。） ※高精度の型抜き加工も承ります。 　（加工内容により、ご希望に添えない場合もございますので、 　　詳細は、お問い合わせ下さい。） ※フィルムの反り軽減のためのアニール加工も承ります。 　（別途、御見積いたしますので、詳細はお問い合わせ下さい。）...

メーカー・取り扱い企業： 松原商事株式会社

ルミラー　Ｔ６０　２５０ミクロン　Ａ３（１００枚）

高透明ＰＥＴフィルム（ポリエステルフィルム）　高精度型抜き加工も可

問い合わせ下さい。） ※高精度の型抜き加工も承ります。 　（加工内容により、ご希望に添えない場合もございますので、 　　詳細は、お問い合わせ下さい。） ※フィルムの反り軽減のためのアニール加工も承ります。 　（別途、御見積いたしますので、詳細はお問い合わせ下さい。）...

メーカー・取り扱い企業： 松原商事株式会社

ルミラー　Ｔ６０　１８８ミクロン　Ａ３（１００枚）

高透明ＰＥＴフィルム（ポリエステルフィルム）　高精度型抜き加工も可

問い合わせ下さい。） ※高精度の型抜き加工も承ります。 　（加工内容により、ご希望に添えない場合もございますので、 　　詳細は、お問い合わせ下さい。） ※フィルムの反り軽減のためのアニール加工も承ります。 　（別途、御見積いたしますので、詳細はお問い合わせ下さい。）...

メーカー・取り扱い企業： 松原商事株式会社