各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

東販産業株式会社　設備紹介

高速高トルク仕様のマシニングセンターや、三次元測定機などを保有していま…

■2軸円テーブル：（株）三共製作所「RT100-ARS」 ■汎用フライス盤：静岡鉄工「VHR-A」 ■パネルソー：SINX「HP1」 ■プレーナー：大日精工「ELITE500DZP」 ■アニール炉：ヤマト科学「DKN602」 ■タッチプローブ：ブルームノボテスト（株）「TC-52」 ■2.5D CAD/CAM：タクテックス「WINMAX」 ■3D CAD/CAM：SolidＷork...

メーカー・取り扱い企業： 東販産業株式会社