横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【解説資料進呈】熱が加わっても収縮を防ぐアニール加工とは？

「熱による変形を防ぎたい」「寸法や形状を安定させたい」といったお悩みが…

通常、熱が加わると基材が大きく縮みます。 しかし『アニール加工』をあらかじめ熱処理をすることで 縮み量が小さくなり、熱が加わっても基材がほとんど縮みません。 ​『アニール加工』は、各種フィルムに熱処理加工を施すことにより、 次工程以降での耐熱寸...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社

磁性焼鈍・光輝焼鈍・軟化焼鈍と受託

当社では焼鈍の受託加工を承っています

栃木精工株式会社では、種製品の製造過程に於いて、磁性焼鈍（高温アニール） をはじめ光輝焼鈍（BA焼鈍=Bright Annealing）、軟化焼鈍（低温アニール） などを行っております。 焼鈍とは再結晶温度に加熱・保持した後に徐冷する工程で、素材の残留応力...

メーカー・取り扱い企業： 栃木精工株式会社 小山工場

『加工アイテム別　マシン仕様概要』

大槻工業の加工アイテム別、マシン仕様概要をご紹介します

フィルム材料の表面処理等の加工を取り扱う、大槻工業株式会社の加工 アイテム別マシン仕様概要をご紹介します。 アニール加工やコロナ処理のほか、コーティングマットといった加工 アイテム別に、基材幅、最大径、コアの数値を掲載しています。 製品仕様やマシン制約により加工出来ない場合がございます。 【加工一...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社

大槻工業株式会社　会社概要

多様化するニーズに精密塗工技術でお手伝い！フィルム材料の表面処理等の加…

すが、これまで培ってきたノウハウを駆使して、これからも 多様化するニーズに、お応えいたします。 【事業内容】 ■ポリエステルフィルムを主体とするフィルムベースの表面コーティング加工 ■アニール加工・コロナ処理・コーティングマット・離型コート・ 　易接着コート・着色コート・帯電防止コート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。 シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたします。 上位仕様としてクラスタタイプの搬送室も装備可能でアニールや蒸着などの異種プロセス室も搭載可能な進化型スパッタリング装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

表面処理『易接着コート』

印刷インキや樹脂との安定した密着性を実現！ご要望の材料や密着力に応じて…

コーティング樹脂やインクとの密着性能が低いフィルムに当処理を施すことで、 安定した密着性を得ることができます。 ご要望の材料や密着力に応じて、随時対応させていただきます。 他の加工品(アニール加工等)との組み合わせも可能です。 小ロットでも対応致しますので、お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■各種印刷インキとの密着性に優れる ■各種樹脂との密着性に優れる ■UVインクジェ...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社

サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』

MEMSデバイス試作から量産まで！お客様の未来創りをMEMS技術でお手…

工プロセス】 ○エッチング →Si深掘り　Deep RIE →ドライエッチング →ウェットエッチング ○成膜 →PZT圧電薄膜 →金属膜 →絶縁膜 ○酸化、拡散 →熱酸化 →アニール ○ガラス加工 →ブラスト加工 →ガラスエッチング ○フォトリソ →レジスト塗布 →ミラープロジェクション露光 →コンタクト／プロキシミティ露光 →現像 →ドライフィルム ○接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

耐熱・寸法安定性が欲しい、帯電防止効果を持たせたいを解決！

フィルム材料の「表面処理加工技術資料」・「お悩み解決事例集」・「会社案…

【当社事業内容】 ポリエステルフィルムを主体とするフィルムベースの表面コーティング加工 ・アニール加工 ・コロナ処理 ・コーティングマット ・離型コート ・易接着コート ・着色コート ・帯電防止コート ※カタログダウンロードにて、表面処理加工の一例をご覧頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社

耐熱・寸法安定性が欲しい、帯電防止効果を持たせたいを解決！

フィルム材料の「表面処理加工技術資料」・「お悩み解決事例集」・「会社案…

【当社事業内容】 ポリエステルフィルムを主体とするフィルムベースの表面コーティング加工 ・アニール加工 ・コロナ処理 ・コーティングマット ・離型コート ・易接着コート ・着色コート ・帯電防止コート ※カタログダウンロードにて、表面処理加工の一例をご覧頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社