マルチ真空プロセス装置

真空運搬ロボットを搭載したクラスター型複合プロセス装置

上部に取り付け高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空運搬ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 ○±3％の膜厚分布のスパッタ成膜ユニットを搭載 ○最高1000℃まで昇温可能なランプアニールユニットを搭載 ○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なカセットロードロック室を装備 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

株式会社ユーハン工業の事業紹介

お客様にとって『なくてはならない会社』になろう！ユーハン工業の事業紹介

【主要設備】 ○熱処理設備 ○マシニング ○アニール炉 ○NC旋盤 ○NCホブ盤 ○歯車測定機 ○シェービング盤 ○真円度測定機 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ユーハン工業株式会社