セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロスコンタミネ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

各種成膜・アニール装置

ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置

大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計・製作 ■成膜装...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

特殊な内部構造により断熱材不要！高効率、高速昇温！クリーン加熱 (特…

◯コンパクト・特殊構造（特許　第3700689号） ◯対応機種に温度範囲：50℃～500℃（但し、使用条件による） 【用途】 ◯ディスク洗浄後の乾燥 ◯LCD基板洗浄後の乾燥 ◯アニール炉内温度の均温化 ◯各種クリーン乾燥 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

石英ガラス製品　バーナー火加工製品

次世代装置にも対応

【特徴】 ○火加工製品の溶接加工では、製品サイズによって、バーナーの形状や口径が選択され、 　溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 　各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社