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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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高速高トルク仕様のマシニングセンターや、三次元測定機などを保有していま…
■2軸円テーブル:(株)三共製作所「RT100-ARS」 ■汎用フライス盤:静岡鉄工「VHR-A」 ■パネルソー:SINX「HP1」 ■プレーナー:大日精工「ELITE500DZP」 ■アニール炉:ヤマト科学「DKN602」 ■タッチプローブ:ブルームノボテスト(株)「TC-52」 ■2.5D CAD/CAM:タクテックス「WINMAX」 ■3D CAD/CAM:SolidWork...
メーカー・取り扱い企業: 東販産業株式会社
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