アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式アニール焼成炉

バッチ式アニール焼成炉

［仕　様］ ◆使用温度‥‥‥‥600℃ ◆炉内均一性‥‥‥600℃±3℃ ◆ＰIDプログラム温調 ◆炉内寸法‥‥‥‥ご希望の寸法に対応 ◆外形寸法‥‥‥‥幅900mm×高1650mm×奥行1500mm ◆使用電源‥‥‥‥3相 200V 20KVA ...●アルミナボード材にヒーターを組込築炉、SUSマッフル炉にすることで炉内の均熱性を高めています。 ●内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒートテック

特殊炉【アルミ溶解・保持装置】

丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』

持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度：750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向...

メーカー・取り扱い企業： 丸祥電器株式会社

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Products Guide_【超高温実験炉 製品ガイド」

テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の…

Edge furnace セミオート式 超高温卓上型実験炉 Max2000℃ ◉ MiniLab-CF セミオート式 超高温実験炉 Max2900℃ ◉ MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉 Max2000℃ ◉ TVF-110 石英反応管縦型炉 Max1200℃ ◉ Nanofurnace 石英反応管 ホットウオール熱CVD装置 ◉ ANNEAL ウエハーアニール装置 Ma...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

工業用加熱炉

熱利用技術に精通した強みを生かし、各種工業炉に対応いたします。

器部品の熱処理炉です。 基板加熱炉（連続式窒素雰囲気炉） 【説明】電子機器の基板を無酸素の状態で加熱する連続炉です。 ガラス管熱処理装置（電気式赤外線加熱方式） 【説明】ガラス管のアニール装置です。 鋼板熱処理炉（ガス式赤外線加熱方式） 【説明】バッチ式鋼板加熱炉です。 ガラス基板加熱炉（電気式熱風循環方式） 【説明】バッチ式および連続式ガラス基板加熱炉です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所

ラボ用真空熱処理炉『OSK 75YU 14HV』

断熱性に優れたセラミックファイバーを採用した炉室を使用！1700℃まで…

理炉『OSK 75YU 14HV』を ご紹介いたします。 金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、高温合金、 硬質合金、非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気 での真空焼結とアニールの熱処理に対応。 炭酸化の開発プロセスにおける炭素製品のような材料の特殊な 熱処理にも対応できます。 【特長】 ■温度均一 5℃以内 ■良好な真空フランジシールにより漏れがない ...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

ラボ用真空熱処理炉『OSK 75YU 12HV』

良好な真空フランジシールにより漏れがない！個性的なカスタマイズが可能

『OSK 75YU 12HV』は、金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、 高温合金、硬質合金、非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気 での真空焼結とアニールの熱処理に対応する高真空炉です。 炭酸化の開発プロセスにおける炭素製品のような材料の特殊な熱処理 にも対応可能。 温度精密が±1のSCR(ケイ素制御の整流器)と30の区分のプログラム...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

ラボ用真空熱処理炉『OSK 75YU 17HV』

温度均一が5℃以内！炭素製品のような材料の特殊な熱処理にも対応可能

HV』は、1700℃まで操作できるラボ用真空熱処理炉です。 金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、高温合金、硬質合金、 非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気での真空焼結と アニールの熱処理に対応。 温度精密が±1のSCR(ケイ素制御の整流器)と30の区分のプログラム可能な 温度制御を搭載しております。 【特長】 ■良好な真空フランジシールにより漏れがない ...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

遠赤外線コンベア炉

遠赤外線コンベア炉！遠赤外線セラミックヒーターを使用した連続方式の加熱…

ーターを使用した連続方式の加熱炉です。 　自動化ラインに組み込むことにより、生産性の向上・コスト低減・高品質の製品製造がご提案できます。 ●処理時間の短縮：熱風バッチ処理１〜８時間⇒２〜７分（アニール処理の場合） ●品質向上：遠赤外線ヒーターをゾーン分割制御することにより、高精度な温度分布を実現し、製品の品質向上をいたします。 ●クリーン加熱：テフロンベルト、ＨＥＰＡフィルターを採用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール 卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種 「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

特殊炉【特殊ガス処理装置】

丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』

／加熱・熱処理技術のエキスパート企業 丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【特殊ガス処理装置】』のご案内です。 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向...

メーカー・取り扱い企業： 丸祥電器株式会社