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PR加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致し…
基板に熱的安定性に優れたパイレックスガラス (或いは同等ガラス)のファインアニール品を使用した精密集光用ミラーです。λ/4の基板面精度を有し、研究開発用途や精密望遠鏡用のミラーに最適です。基板の裏面側、及びコバ面側は砂面仕上げ。基板表面のコーティングオプションは、エドモンド・オ...
メーカー・取り扱い企業: エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
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標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致し…
基板に熱的安定性に優れたパイレックスガラス (或いは同等ガラス)のファインアニール品を使用した精密集光用ミラーです。λ/8の基板面精度を有し、研究開発用途や精密望遠鏡用のミラーに最適です。基板の裏面側、及びコバ面側は砂面仕上げ。基板表面のコーティングオプションは、エドモンド・オ...
メーカー・取り扱い企業: エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
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標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致し…
λ/4の面精度を持った高精度平面ミラーです。基板には熱膨張係数の低いパイレックス ガラスのファインアニール品を使用しています。金属膜のコーティングは、エドモンド・オプティクス標準の全4種類をご用意しました。 標準規格品の製品ラインナップとその仕様、販売価格に関しては、エドモンド・オプティクス・ジャ...
メーカー・取り扱い企業: エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
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