ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

マイカ断熱・絶縁コンプレッションパッドPLUS

PREV・産業用リチウムイオンバッテリーの断熱・絶縁対策。セル間の熱暴走対…

エルメリン社はロンドンを拠点とし、マイカ (雲母) の加工及び他の樹脂や素材と組合せることで、電気自動車や産業用大型蓄電池のリチウムイオン電池や製鉄所などに使用される断熱板や絶縁パッドなどを供給しています。 【本製品が選ばれるポイント】 ■ 約700℃～1,000℃までの耐熱性と不燃性 ■ マイカ0.1mm厚あたり2,000V の絶縁性能 ■ パッド、カバー、シート(硬質・軟質)、スリーブ、ワッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

イオンクロマト分析

固体試料は、イオン性成分を純水に溶出！水溶液中の微量なイオン性成分を高…

『イオンクロマト分析』は、水溶液中の微量なイオン性成分の 定性分析・定量分析が可能です。 イオン交換樹脂を充填したカラムを用いて分離を行い、電気伝導度を 測定することで、水溶液中の微量なイオン性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

イオンモンテカルロ・シミュレーション・モジュール（IMCSM）

プラズマ解析領域全体におけるイオンのエネルギー分布、角度分布等を計算！

『イオンモンテカルロ・シミュレーション・モジュール（IMCSM）』は、 プラズマ解析領域全体にわたり、イオンのエネルギー分布、また境界セル での入射エネルギー／角度分布を計算します。 現在のPH...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

【特集】バッテリー研究開発・製造向けソリューション

材料開発シミュレーションツールによる急速充電時のリチウムイオン濃度分布…

カーボンニュートラル社会実現のカギを握る取り組みが自動車の電動化ですが、その車載用バッテリーとして、リチウムイオン電池のさらなる性能向上や、全固体電池などの新たな二次電池の開発が求められています。 SCSKが提供する、バッテリー研究開発・製造のための各種CAEシミュレーション技術をご紹介します。 ...

メーカー・取り扱い企業： SCSK株式会社 デジタルエンジニアリング事業本部

動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア（SASAMAL）

イオン注入、あるいはスパッタリング現象そのものに関する計算を行うことが…

『動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア（SASAMAL）』は、 2体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。 アモルファスターゲットに高エネルギーのイオンが入射した際の スパッタリング率、スパッタリング原子の放出角度分布・エネルギー分布、 入射粒子の後方散乱する割合・角度分布・エネルギー分布、イオンの ターゲットへの侵入深さ（Depth Pr...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

【資料】Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告

ワークフローの可視化を実現するツールを使用したサイクル寿命予測について…

当資料では、Pipeline Pilotを用いて機械学習をした場合における Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告を掲載しております。 「背景」、「流れ」、「結果」、「考察」をそれぞれご紹介。 Pipeline Pilotは、大量なデータ処理や解析、作業の自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

液晶中の微量金属元素分析

パネルサイズにより、ICP-AES/MS装置を使い分けて分析する事が可…

パネルを用いてICP測定を行い、定量化を行った事例を ご紹介します。 LCDの液晶分子はパネル内で配向しており、電圧により液晶の配向状態が 変わる事で表示が制御されます。金属元素のようなイオン性物質がパネル 内部に存在すると液晶が正しく駆動せず表示不良が発生。 イオン性物質は、製造時の混入や長期使用で増加することが知られており、 定量化して把握する事がパネル品質として重要です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

コンクリート中の塩化物イオンの定量【電位差自動滴定装置】

試料に硝酸を加えてpHを3以下としたのち、加熱煮沸して塩化物イオンを抽…

当資料では、コンクリート中に含まれる塩化物イオン（Cl¯）を 定量する例をご紹介しています。 試料に硝酸を加えてpHを3以下とし加熱煮沸して塩化物イオンを抽出。 常温まで冷却後、不溶分をろ過洗浄し、作成したろ液を硝酸銀標準液を ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電磁界解析ソフト　【μ-EXCEL　軌道解析版】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

電磁場解析だけでなく熱、構造、流体、電磁波へと豊富なテーマに進化中です。 テーマにあったシリーズをお探し下さい（現在、全11シリーズ）。 【特長】 　・電場解析・磁場解析、電場・磁場中のイオンビームの挙動解析 　・荷電粒子の質量、電荷数、初期座標、初期速度で軌道計算スタート 　・電場、電位分布、磁場、磁力線、軌道図算出 　・複数の荷電粒子に用る反発作用 ※他の解析ソフトに比...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール（SMCSM）

内蔵のシースモデルを用いて、短時間で計算することが可能です！

『シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール（SMCSM）』は、 プラズマシース端からシースを通ってシース底部（ターゲット表面）に 達するイオン、電子のエネルギー分布、角度分布等を計算します。 PIC-MCCM、PHMとも、計算時間がかかりますが、ターゲット表面のイオンの エネルギーについてのみを評価したい場合、当製品は内蔵のシー...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI上で、複数の反応式を設定も可能 ・成膜速度分布 ・電子とイオンの密度分布 ・ラジカルと励起種の発生分布 ・イオンフラックス分布 ・エロージョン速度分布　　　　　　など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

Particle-PLUSは、いくつかの主要なモジュールで構成されています。 ■プラズマモジュール Particle In Cell法(PIC粒子法)を用いて電子、イオンの挙動を解析します。 ソルバーの特徴として、時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな計算時間幅Δt で安定に時間発展を求めることができます。また、プロセスプラズマシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

二次電池モデル

１Dモデル・２Dモデルを使った二次電池のシミュレーションにより、最適な…

「gPROMS」をベースとした、二次電池の開発・システムシミュレーションの詳細のご説明。鉛蓄電池モデリングのケーススタディをご覧頂けます。 鉛蓄電池のライブラリがあります。リチウムイオン電池に関しては、カスタムモデリングで対応致します。 １Dモデル・２Dモデルを組み合わせた検証により、より正確なデータを算出し、各バッテリー部で発生する物理的・化学的現象を総合的に考慮すること...

メーカー・取り扱い企業： シーメンス株式会社 gPROMS ポートフォリオ

断面加工・観察方法の紹介

機械研磨では広範囲の加工及び観察が可能！適切な加工、観察手法や組み合わ…

機械研磨及び機械研磨＋イオンミリング処理による試料加工について紹介致します。 機械研磨は一般的で歴史の長い断面作製手法であり、広範囲で断面を 作製することが可能。また、イオンミリング処理と組み合わせることで CP加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【資料】アクティブラーニングによる材料探索・最適化

目指す物性(イオン電導度) を持った高性能な固体電解質をより少ない試行…

る材料探索・最適化を ご紹介しております。 「アクティブラーニング概要」や「ソリューション紹介」をはじめ 「アクティブラーニングによる機械学習モデルの作成」も掲載。 「固体電解質のイオン伝導度への応用例」も掲載しておりますので ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■アクティブラーニング概要 ■ソリューション紹介 ■アクティブラーニングによる機械学習モデルの作成 ...

メーカー・取り扱い企業： ダッソー・システムズ株式会社

スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）

より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能です…

『スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）』は、 PIC-MCCMの計算結果（ターゲットへの入射イオンのフラックス、エネルギー、 入射角）を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックス や角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。 粒子法を取り入れたプラズマ解析...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

GT-AutoLion

熱による電池性能と経年劣化シミュレーション

AutoLionは、米国EC POWER社により開発されたリチウムイオン電池性能シミュレータです。放電レート特性、放電温度特性、電流電圧特性などのリチウムイオン電池の特性を、お手持ちのパソコンで効率的に予測することができます。 ○AutoLion-1D 仮想バ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

磁場測定テスラメータ DTMシリーズ

高精度・高分解能かつ安価なホール効果 磁場測定器

績があります。 長年培われた技術力やノウハウ、さらに経験を持ったスペシャリストによって、お客様の用途に合わせたカスタマイズ製品なども設計・製造可能です。 【納入実績/使用用途(例)】 ■イオン注入装置 ■粒子線加速器 ■医療用加速器 ■電子顕微鏡 ■精密電磁石...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）

計算の精度が高い！装置内のプラズマ密度が、比較的低い場合のプラズマ解析…

解析ができる モジュールです。 装置内のプラズマ密度が、比較的低い（10^16[#/m3]；10^10[#/cc]程度以下） 場合のプラズマ解析を得意としており、電磁場中での電子ビーム、イオン ビームの軌道解析などといった荷電粒子挙動解析も可能です。 【特長】 ■物理モデルが比較的簡単である ■シミュレーションの際に持ち込まれている物理モデルの仮定や近似が少ない ■計算の...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

ポリマー・樹脂の物性値予測支援ツール【日本語】

ポリマー・樹脂の物性値予測を高速・高精度で支援するGPU援用高速分子動…

マー中の低分子の拡散係数 #表面張力/異種材料間の相互作用エネルギー #低分子のポリマー中への侵入率（水の場合は吸水率） #SAXS回折パターン/構造因子/動径分布関数 #ポリマー電解質ーイオン間相互作用の可視化と解析 #誘電率/屈折率/Abbe数...

メーカー・取り扱い企業： シュレーディンガー株式会社

ＩS製品シリーズ　【事例】組織観察（EBSD）

従来の研磨では難しかったEBSD（結晶方位解析）用の試料の作成が可能

ャンセラーを使うことで試料に掛かる圧力を自在にコントロールすることができるため、アルミ・銅・半田などの柔らかい金属材料から硬い金属材料の研磨を行うことができます。さらに綺麗な仕上げが必要な場合は、イオンミリングやクロスセクションポリッシャーなどのイオンビームによる研磨が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社池上精機

EPMAによる状態分析

標準スペクトルと比較することで結合状態を推定！EPMAによる状態分析を…

EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態（イオン価、 結晶構造、配位数）の異なりから、特性X線ピーク波長に変化（シフトや波形）が 生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。 2種類の銅酸化物の識別において...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

シリコンICプロセスシミュレータ

CSupremにおける物理モデル

イオン注入(ion implantation), 蒸着(deposition)、エッチング(etching)、拡散(diffusion)、酸化(oxidation)に対する物理モデルをベースに様々な半導体構造の1次元、2次元および3次元のプロセスシミュレーションが可能。IC製造工程の研究開発コストをコントロールするのに欠くことのできない信頼のある正確なシミュレーションツール。デバイスシミュレーターのため...

メーカー・取り扱い企業： クロスライトソフトウェアインク日本支社

メカニズム解析サービス『ベーシックスキャン』

主要代謝物質の大部分をカバー！一次代謝のプロファイルをリーズナブルに確…

【概要】 ■解析対象 　・約1,000個のイオン性代謝物質 　・動植物の一次代謝を構成する内因性の代謝物質：糖リン酸・アミノ酸・核酸・有機酸 など ■検出物質数 　・血液、尿：100 ～ 150 　・動植物組織：200 ～ 250 　...

メーカー・取り扱い企業： ヒューマン・メタボローム・テクノロジーズ株式会社

熱マネージメント概論～放熱、断熱、吸熱、遮熱、蓄熱、耐熱～

材料熱設計をご支援致します～熱マネージメント概論～

・目指すべき特性（目標）は ・材料設計する際、何を考慮していくか ポイントを記載しております。 詳細については別途ご支援していけます 異種材料の放熱性UPとして「ミネラル強化 金属イオン多機能化技術」も追加させて頂きます。一度ご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： KOHGAMI Corporation（神上コーポレーション）株式会社

『LECCA2-Lite』

新材料の情報も追加！コンクリート構造物の長期性能シミュレーションプログ…

【概要】 ■塩害計算 ・海洋、陸上構造物のそれぞれの環境に併せた境界条件を設定し、 　コンクリート中の塩化物イオン量分布を2次元FEM解析により予測 ■凍害計算 ・付属気象データからコンクリートの温度変化を計算 ■中性化計算 ・二酸化炭素の拡散と水酸化カルシウムの反応を考慮した2次元FEMにより、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社計算力学研究センター【略称:RCCM】 東京本社

『コンクリート構造物の長期性能シミュレーションプログラム』

コンクリート構造物の「塩害、中性化、凍害」による劣化を長期にわたりシミ…

化、塩害あるいは凍害による 劣化現象の経時変化を2次元定量的に捉えることのできるプログラムです。 当プログラムは、2次元FEM計算や鉄筋腐食量の算出などが可能なほか、 鉄筋腐食量・塩化物イオン濃度などの分布図をビジュアルに表示します。 また、補修材の物性値を指定して、製品の仕様にあわせた維持管理計画も 策定可能です。 【機能】 ■2次元FEM計算 ■表面濃度と拡散係数の予...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社計算力学研究センター【略称:RCCM】 東京本社

CE/MS システム

1つのPCより制御！複雑なサンプルマトリクス中の種々の化合物の分析でよ…

溶媒システムによる優れたMS感度 ■単純で非常に安定したネブライジングが可能 ■ネブライザが接地され、CE分離条件はMSの動作条件の影響を受けない ■ESI、APCI、APPI などの複数のイオンソースを使用できる ■サポート、使いやすさ、および信頼性を保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アジレント・テクノロジー株式会社

【記事】劣化も発熱もバッテリHILSで克服！

ECUに制御されるバッテリのテストも、シミュレータで良いパフォーマンス…

いろいろありますが、電気自動車やハイブリッド車に搭載されているのは、 何度も充電して使える二次電池というタイプです。 バッテリは現在進行形で技術革新している分野。 主流の「リチウムイオン電池」「ニッケル水素電池」の2種の方式内でも、 新しい方式のバッテリでも日々新しいことが起こっており、HILSが効果的です。 詳細については、ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NF計測技研

炭化水素・ハロゲン化炭化水素類【カールフィッシャー水分測定計】

一般的な炭化水素・ハロゲン化炭化水素類は直接法で問題なく測定可能です！

化炭化水素類の水分データを ご紹介しております。 AQシリーズでは、カールフィッシャー電量滴定法を採用。 電量法では、カールフィッシャー試薬のヨウ素成分は発生液に 含まれるヨウ化物イオンの電気分解によって与えられます。 【掲載内容】 ■測定の概要 ■装置構成および試薬 ■測定手順 ■測定条件例および測定結果 ■摘要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA

電子銃・イオンビーム・スパッタ解析／μ-Excel　軌道計算版

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

電磁場解析だけでなく熱、構造、流体、電磁波へと豊富なテーマに進化中です。 テーマにあったシリーズをお探し下さい（現在、全11シリーズ）。 【特長】 　・電場解析・磁場解析、電場・磁場中のイオンビームの挙動解析 　・荷電粒子の質量、電荷数、初期座標、初期速度で軌道計算スタート 　・電場、電位分布、磁場、磁力線、軌道図算出 　・複数の荷電粒子に用る反発作用 ※他の解析ソフトに比...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

角型Liイオン電池の構造解析

光学顕微鏡観察及び極低加速FE-SEMにて観察！詳細な構造の解析や元素…

市販の角型Liイオン電池を機械研磨し、光学顕微鏡観察及び極低加速FE-SEMにて 観察することにより、詳細な構造の解析や元素分析等が行えます。 資料では、Liイオン電池の全体構造及びSEM観察や極低加速FE-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

セメント中の塩化物イオンの定量【電位差自動滴定装置】

塩化物イオン標準液および過酸化水素水を加えて加熱処理！硝酸銀標準液を用…

当資料では、セメント中に含まれる塩化物イオン（Cl¯）を定量する 例をご紹介します。 試料を硝酸で溶解し、塩化物イオン標準液および過酸化水素水を加えて 加熱処理したのち、硝酸銀標準液を用いた沈殿滴定によって測定。 終点検出用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社