イオン | イプロスものづくり

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ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部
マイクロ粒子のシート化技術

PR【技術の実用化に向けて協力企業を募集中！】導電性フィルムや、全固体…

当社で開発した「マイクロ粒子のシート化技術」についてご紹介いたします。マイクロ粒子を熱プレスとUV硬化により、両端を露出させた状態で樹脂膜中に単層で埋め込む技術です。この技術により、マイクロ粒子の両端を複合膜の上下両面から露出させることができ、各種マイクロ粒子がもつ熱・電気・イオン伝導性などを損なわず、粒子本来の性能を発揮させられます。これは粒子を複合膜に埋没させない特許技...
メーカー・取り扱い企業：日榮新化株式会社
イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社
イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサは実績のあるミニチュアゲージ（M...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

ちによって運営されています。実用的、技術的、基礎的な研究課題の解決に向け、お客様をサポートする体制を整えています。1998年にEUROVAC社は、バリアン表面科学部門(米国/パロアルト)を買収し、イオン銃、電子銃、LEED、RHEED、CMAの製造をスウェーデンのストックホルムに移管し、製品、スペアパーツ、サービスサポート等を提供する製造メーカーとして信頼性の高い非常に優れた機器を低価格でご提供...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク
クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定などにお使いいただけます。【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
電子ビーム真空蒸着装置

メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上！

無しで10-5Paに入ります。この他、電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置「マグネトロンスパッター装置」や、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用される「3KV イオン銃(SIG030)」などをご用意しております。【特長】 ■真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、　全て電磁バルブを使用した全自動排気系 ■到達圧力は液体...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社
技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプなどを掲載しています。今なら最新技...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー ○クライオトラップ TVPシリーズ ○イオンソースシステム詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社
ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

株式会社AlphaPlusは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に使用される「スパッタリング...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AlphaPlus
まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

ント中！総合カタログには、長期間の安定運転が可能な「ドライ真空ポンプ」、省スペース・省電力を両立した「真空計」などを多数掲載。技術資料は「IGZO膜の成膜手法」「マスクを用いたイオン注入技術」などをデータ資料を交えて徹底解説！“真空”に携わる技術者必見の内容です。【展示会情報】半導体製造分野の祭典「SEMICON Japan 2015」に出展致します！ ■会...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

【取り扱い製品】 ○イオンビームエッチング ○イオンビームスパッタリング ○イオンスパッタリング ○インライン型スパッタリング装置 ○光学薄膜成膜装置 ○ガスクラスターイオンビーム装置 ○加速中性原子ビーム装置...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社
超高真空対応トランスファーベッセル (UHVスーツケース)

コンパクトで軽量化されたモジュール式ポータブルシステム！

対応しておりサンプル表面を清浄に保持しながら超高真空及び極低温環境下での保管や搬送、装置間の移送等が可能なモジュール式ポータブルシステムです。 NEG（非蒸発型）ゲッターポンプと小型イオンポンプを融合させた超小型高性能UHV用コンビネーションポンプ「NEXTorr(R)ポンプ」を採用しております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■サンプル表面を...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク
超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

より、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制御システム ○高出力・大面積照射イオンソース詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
真空乾燥システム

充電池などの水分・溶剤乾燥に！高精度の温度コントロールで歩留まり向上

大村技研の『真空乾燥システム』は、充電池やリチウムイオン電池、リチウムイオンキャパシタ極板等の水分及び溶剤乾燥に利用する装置です。多数本による乾燥で省スペース化、乾燥時間短縮を実現。また、高精度な温度コントロールにより、歩留まり向上に貢...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社
極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が可能な新しいタイプの測定子です。電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラットフランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
電極材向けグリッパー FLGR

電極材搬送の課題となる変形やシワを抑制可能なカスタマイズ式グリッパー

電極材向けグリッパー FLGRは、二次電池（リチウムイオン電池）のセパレータや電極材搬送に適したグリッパーです。低真空圧かつ大吸込み量の真空発生器と、多孔プレートが一体化した構造になっており、ワーク全面をおだやかに吸着する事によってワークへの負荷...
メーカー・取り扱い企業：シュマルツ株式会社
表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』

RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表…

圧：AC90～250V　50/60Hz ■使用温度：5～50℃ ■保管温度：-20～60℃ ■ゲージ認識：自動 ■接続ゲージ：オンゲージ（M-311HG）ピラニ、キャパシタンス、クリスタルイオン、CCピラニ ■外形寸法（mm）・1Ch接続タイプ：84×106.3×212 ・3Ch接続タイプ：128.5×106.3×212 ■対応：CEマーキング、RoHS、IP30 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。【特長】 ○官能基修飾処理 ○リアクティブイオンエッチング（RIE）その他詳細は、PDFをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研
極低温冷凍機

最も普及している冷凍機の１つ

性の一つ。電気抵抗がゼロになり、物体浮上（マイスナー効果）を引き起こしたり、超高速のスイッチング（ジョセフソン効果）が可能になったり、私たちが生活する常温の世界では考えられない物性が、極低温の中でイオンや電子の相互作用によって現れてくるものです。超電導は、１９１１年にオランダ人が水銀を４．２Ｋ（ケルビン）に冷やすことによって、始めて発見されました。以来、およそ１００年の間に冷凍技術が目覚しい...

メーカー・取り扱い企業：ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター
XGS600　真空計

大気圧から超高真空までの計測が可能！広帯域型の真空計です。

フルスケール） ○フルレンジゲージ／ピラニ－コールドカソードゲージ（5×10-7 Pa ～ atm） ○フルレンジゲージ／ピラニ－B/Aゲージ（5×10-8 Pa ～ atm） ○ヌードイオンゲージ（6.7×10-10 ～ 1×10-1 Pa） ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社
パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
各種真空ポンプ　オーバーホール

"粗引きポンプから超高真空用ポンプまで、オーバーホール致します。"…

"＜取扱ポンプ＞　●ロータリーポンプ　●スクロールポンプ　●ターボ分子ポンプ　●油拡散ポンプ　●イオンポンプ＜取扱メーカー＞　●アジレント社（バリアン社）　●エドワーズ社　●ファイファー社　●アディクセン社　●ライボルト社　●アネスト岩田株式会社" ...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社
ファイファー社製真空計

低真空から高真空までの各種真空計です。 ICFでもISO-KFでも在…

エゾゲージ　●キャパシタンスゲージ　●　　　　〃　　　　　（温度コントロール型）　●ピラニキャパシタンスゲージ　●コールドカソードゲージ　●フルレンジCCゲージ　●プロセスイオンゲージ　●フルレンジBAゲージ...

メーカー・取り扱い企業：丸菱実業株式会社
サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。英国オックスフォードアルライドリ…

膜前の基盤クリーニング ■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化 ■半導体基板等のエッチング ■微細加工 ■リアクティブアトムビームエッチング ≪特長≫ ■電荷を持ったイオンによる衝撃と異なり、絶縁物や半導体試料にもチャージダメージなし ■ビームが電荷を持たないので、電場や磁場中でも曲がらず直進します...

メーカー・取り扱い企業：三和真空株式会社
株式会社飯島機械製作所　事業紹介

熟練の技術と確かな品質が信頼の証。

【営業品目】 ○ガス高純度精製装置 →窒素・アルゴン・ヘリウムなど吸着、反応法を利用した　各種ガス高純度精製装置 ○グローブボックス →リチウムイオン電池、有機EL研究・開発、ランプなどの　製造用高純度ガス（窒素・アルゴン・ヘリウムなど）　雰囲気グローブボックス及びこれらのガス循環精製装置の設計･製作･施工 ○シリンダースタンド/キャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社飯島機械製作所
世界で唯一、ガラス配管と金属配管を容易に接続可能なエルボ

ガラス製真空配管部品 EVAC社　エルボ　NW80-160

英：紫外光を透過させるのに最適 ●真空10-7Pa台に対応 ●0.2MPaまでの加圧に対応 ●最高使用温度：Duran(R)450℃、石英1000℃ ●低温領域は-30℃まで対応可能 ●イオン注入装置等、極めてクリーンな用途には石英が最適 ◆◇◆詳細は資料請求、またはカタログをご覧下さい◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業：コスモ・テック株式会社
スリーエス株式会社　事業紹介

お客様専用の真空機器・真空装置の設計、製作、据付までをトータルサポート…

○真空フランジ、真空配管 ○フレキシブルチューブ、成形ベローズ、溶接ベローズ ○銅ガスケット、Ｏリング、耐食性Ｏリング ○電流導入端子、回転導入端子、直線導入端子 ○ターボ分子ポンプ、イオンポンプ、油回転ポンプ、油拡散ポンプ ○真空計、真空スイッチ、圧力スイッチ、真空バルブ ○Ｈｅリークディテクター ○真空チャンバー製作設計 ○ステンレス、アルミその他金属の精密加工及び溶接 ...

メーカー・取り扱い企業：スリーエス株式会社
真空薄膜形成装置や表面分析装置　長年培った真空技術がこの一冊に！

長年培った真空技術！真空機器関連及び理化学機器における製品ラインアップ…

においてグローバルな視野を持ち、常に時代の先端を見つめ、新しい技術と商品ニーズを先取りし、ユーザー様の役に立つ製品を提供し続けている、株式会社パスカルの総合カタログです。従来のイオン散乱表面分析装置では不可能だった、絶縁体表面の極性判別や構造解析、元素同定、さらに電場・磁場中での【その場分析】を可能にした飛行時間型原子散乱表面分析装置「TOFLAS-3000」をはじめ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
低水分グローブBOX付真空乾燥装置

電池/電極生産用乾燥装置　【リチウム二次イオン・キャパシタ、太陽電池、…

露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥･ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防ぐ低水分グローブBOX付真空乾燥装置です。各種電池・電極などの乾燥･ベーキング･脱ガス処理に適しています。...【仕様】 ■各種電池・電極などの乾燥･ベーキング･脱ガス処理のための装置 ■露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥･ベーキング処理後の　ワークへの水分吸着を防ぐ ■槽内寸法：W400×D...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社
テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
■事業紹介：真空機器販売【真空ポンプ・ベローズ・真空バルブ】

真空機器の販売も行っております。真空ポンプ・ベローズ・真空バルブをお探…

々な加工、工材に対応しております。弊社では、真空機器の販売も行っております。 ◆真空ポンプ・ロータリーポンプ・メカニカルブースタ・ドライポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ　等 ◆ベローズフレキシブルチューブ成形ベローズ溶接ベローズ ◆真空バルブアングルバルブゲートバルブバタフライバルブ　等 ※詳細は、直接お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：スリーエス株式会社
中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

【取扱製品】 ■装置　・真空蒸着装置　・スパッタ装置　・イオン注入装置　・RF/DC電源　・電子銃/電子銃用電源等 ■高真空ポンプ　・ターボ分子ポンプ　・クライオポンプ　・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ　・油回転ポンプ　・メカニ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グリーンテック大阪本社
技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No76

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.76です。【アルバッ…

NICAL JOURNAL No.76」は、真空に関する最新技術資料です。 InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用をはじめ、真空計｢G-TRAN シリーズ｣マルチイオンゲージ「SH2」の開発や、大型振り子バルブ「VFR シリーズ」の開発、自動高速分光エリプソメータ｢UNECS-3000A｣の開発などを掲載しています。今なら最新技術資料を無料でプレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
*ロータリーポンプPascalシリーズ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

リーズ：研究開発や分析機器用途 •質量分析計、電子顕微鏡などの粗引き用途 C1シリーズ：腐食性用途 •研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ：腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロードロックなど...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社