【メタルシート洗浄機】ブランク材の加工油・指紋・鉄粉を一発洗浄！

PR半導体製造装置関連・精密板金加工の洗浄を効率化。危険な有機溶剤や洗剤を…

メタルシート洗浄機『MSW-1000HE』は、スーパーアルカリイオン水（アルカリ電解水）の洗浄効果と還元力により、パンチング・プレス・レーザー加工・バリ取り作業の油・粉塵・汚れなどを一回の通過で洗浄・乾燥し、防錆効果を発揮。 洗浄の通過速度は素材の汚れ具合によって無段階に調整可能。次工程のバリ取り機のブラシに油汚れが付着せず、快適な作業環境を実現。 ★ワークのテスト洗浄を受け付けております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Eプラン

シリコーンフリー熱伝導性ギャップフィラー/放熱性グリース

PREV・産業用リチウムイオン電池、インバーターなどの放熱材。ノンシリコー…

ポリテックPTはドイツを拠点とし、EV・産業用リチウムイオン電池やパワーエレクトロニクス製品用途に同社のシリコーンフリー放熱材料が欧州・アジア車両メーカーで量産採用されています。 【本製品が選ばれるポイント】 ■シリコーン不使用 ■シリコーン系材料と比較して高温時でも安定的な粘着性・パフォーマンス ■常時使用 ～ 最大150℃ （一時使用～170℃) ■高熱伝導率(2.2~3.5 W/mK) ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプ...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

カフマン型グリッドイオンガン 　RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm 　DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。 【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー ○クライオトラップ TVPシリーズ ○イオンソースシステム 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】 　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 　・低温で低エネルギー照射が可能 　・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 　・超硬工具用保護膜（c-BN） 　・食品用バリア膜（アルミ） 　・太陽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

模原サービスセンターにて全数出荷前検査を行い日本、台湾、中国、東南アジアに出荷しています。 フロン排出規制に対応した冷凍機のため、既存設備からの載替を行っています。 ●GCIB（ガスクラスターイオンビーム） 数十〜数万個の気体原子よりなるクラスターをイオン化し、適度なエネルギーに加速して照射する技術です。低エネルギーイオンエッチング、高品位成膜・表面平滑化が実証されています。 ●Mult...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

より、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制御システム ○高出力・大面積照射イオンソース 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置…

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」は、Sapio 1300 のテクノロジーを盛り込みつつコストパフォーマンスに磨きをかけたAR コート専用 スタンダードマシンです。 ＲＦイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能です。 【特徴】 ○量産性能と作業効率を高次元で融合 ○設置スペースは1300クラスのたった２割増 ○製品の取数は2倍以上 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

BS-80020CPPS プラズマソース

無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます

日本電子株式会社 BS-80020CPPS プラズマソースは、プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。 プラスチックや有機フィルムへの成膜用途（プラズマアシスト蒸着）や表面改質用途に適しています。 〇特長 ・無加熱成膜でも密着性が良い ・...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

シエンタオミクロン　蒸着源

様々なタイプの蒸着源をご用意しております

小面積用蒸着源、イオンアシスト小面積用蒸着源、大面積用蒸着源、3源蒸着源、原子状水素源、蒸着源用電源、大面積用蒸着電源、各種蒸着器用ルツボなどをラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社

タングステン・モリブデンの加工品

タングステン・モリブデン・タンタル等の高温向けレアメタルの加工品

真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、 高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、 イオン注入装置用フィラメント...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社新栄特殊金属

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

【標準装備】 ○超高速排気系 ○EB-GUN　×2式 ○RFイオンソース ○ファイバー式光学式膜厚計 ○6連水晶式膜厚計 ○ハロゲンヒーター（120℃±5℃内） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■有機分子の蒸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

　回転（手動） ○T-S間距離　150mm（標準） ○参考蒸着レート　0.5Å/s 　　　　　　　　　溶融材料用ルツボ（オプション） ○試料　フィラメント印加電源（オプション） 　　　　イオン電流測定用電流計（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

【資料】コーティングの処理方法によるメリット比較表

処理方法の選定に！乾式法と湿式法のメリット・デメリットを掲載しています

ズの透過率アップによる光量増加などに活用できます。 また、反射防止膜(ARコート)による課題解決事例もご紹介しています。 【比較処理方法】 ■乾式法 ・真空蒸着、スパッタリング、イオンアシスト(IAD)、化学的気相法(CVD) ■湿式法 ・ダイ、スプレー、ディッピング、フロー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニデック コート事業部

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

カフマン　グリッドレス(エンドホール型)　イオンソース

カフマングリッドレスイオンソース一式

The compact low profi le eH series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements. Large ion beam currents meet critical arriv...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

エキシマレーザパルス蒸着システム

エキシマレーザパルス蒸着システム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-271PE PLDシステム

PLAD-271PE PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-150Y PLDシステム

PLAD-150Y PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-250R PLDシステム

PLAD-250R PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-261PG PLDシステム

PLAD-261PG PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-250E PLDシステム

PLAD-250E PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-161 PLDシステム

PLAD-161 PLDシステム

法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社